新原理計測プローブによる光学的基板上ナノ異物高感度検出に関する研究

新原理测量探针高灵敏检测光学基底上纳米污染物的研究

• 批准号: 17J05447
• 负责人: 橘 一輝
• 金额: $ 1.79万
• 依托单位: The University of Tokyo
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for JSPS Fellows
• 财政年份: 2017
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2017-04-26 至 2020-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-17J05447/
• 关键词: 位相差顕微鏡; 空間光位相変調素子; 欠陥検出

昨年度判明した、落射照明型位相差顕微法に特有の性質による問題を解決するために、位相板に替わり、入射光の空間的な位相分布を任意の分布に変調することが可能な空間位相変調素子を用いた光学系を設計し、実験装置の構築を進めた。これにより、空間的な変調範囲のずれによる観察特性の変化を抑制し、理論的に予測される観察特性が得られる落射照明型の位相差顕微法に必要とされる高精度な位相変調制御が可能となった。この成果をまとめ、国内会議（2018年度精密工学会秋季大会学術講演会）で発信した。

为了解决去年发现的Epi-billumumization Phos对比度显微镜所独有的特性引起的问题，使用空间相调制元件设计了一个光学系统，该光学系统可以将入射光的空间相分布转化为任意分布的空间相分布，而不是相位板，而不是实验设备的构建。这抑制了由于空间调制范围的偏差而导致的观察特征的变化，从而允许进行高精度相位调节控制，这是表上鲜明的相对比显微镜所需的，这允许理论上的预测特征。该结果在国内会议上进行了总结和介绍（2018年精密工程协会秋季会议的学术演讲）。

项目成果

Development of nanoparticle detection method based on a new principle combining volatile liquid and optical observation method: Study of highly sensitive optical detection system

基于挥发性液体与光学观察方法相结合的新原理的纳米颗粒检测方法的开发：高灵敏光学检测系统的研究

• 发表时间: 2017
• 作者: Kazuki Tachibana;Shohei Asai;Masaki Michihata;Kiyoshi Takamasu;Satoru Takahashi
• 通讯作者: Satoru Takahashi