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Development of novel nano-processing methods using chemically active negative ions with uniform energy

Development of novel nano-processing methods using chemically active negative ions with uniform energy
使用具有均匀能量的化学活性负离子开发新型纳米加工方法
批准号：
21K18618
负责人：
Himura Haruhiko
金额：
$4.16万
依托单位：
Kyoto Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份：
2021
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2021-07-09 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-21K18618/
关键词：
高周波プラズマナノプロセス装置反応性粒子3次元微細加工技術負イオンナノプロセス反応性イオンリモートプラズマ一様エネルギープラズマナノプロセス

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First result of extracting not only negative but also positive ion beams from RF source for investigating O- and H- applied to novel nano scale processing
从射频源提取负离子束和正离子束以研究 O- 和 H- 应用于新型纳米级加工的第一个结果
DOI： --
发表时间： 2021
期刊：
影响因子： --
作者： [C. Katsuki, Y. Fujimoto, H. Himura, A. Sanpei, T. Kanki, K. Tsumori, H. Nakano]
通讯作者： H. Nakano
京都工芸繊維大学・プラズマ基礎工学研究室
京都工业大学等离子体基础工程实验室
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
プラズマ処理装置
等离子处理设备
DOI： --
发表时间： 2012
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Three-dimensional reconstruction of large non-uniform surface wave plasma using multi-lens array attached to a single viewing port
使用连接到单个观察口的多透镜阵列对大型非均匀表面波等离子体进行三维重建
DOI： 10.35848/1347-4065/ac647f
发表时间： 2022
期刊： Japanese Journal of Applied Physics
影响因子： 1.5
作者： [Ninomiya T., Sanpei A., Niimoto M., Inagaki S., Himura H.]
通讯作者： Himura H.
International collaborative experiment to investigate toroidal flowing plasma frozen in canonical flux tube
  • 批准号：
    20KK0063
  • 项目类别：
    Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research (B))
  • 资助金额：
    $11.98万
  • 财政年份：
    2020
  • 负责人：
    Himura Haruhiko
  • 依托单位：
    Kyoto Institute of Technology
Investigation of dynamics of two-fluid plasmas with controlled self-potential by use of non-neutral plasmas
  • 批准号：
    18H01194
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $11.56万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    Himura Haruhiko
  • 依托单位：
    Kyoto Institute of Technology
Studies on negative oxygen ions for applying nano processing and uniform cluster at room temperature
  • 批准号：
    17K18769
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 资助金额：
    $3.99万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    Himura Haruhiko
  • 依托单位：
    Kyoto Institute of Technology
Experimental studies on two-fluid plasmas by using lithium ion and electron plasmas
  • 批准号：
    26287144
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $10.73万
  • 财政年份：
    2014
  • 负责人：
    Himura Haruhiko
  • 依托单位：
    Kyoto Institute of Technology