その場/オペランドSTMによるグラフェンバイオセンサの検出限界経時変化の解明

使用原位/操作 STM 阐明石墨烯生物传感器检测限随时间的变化

• 批准号: 22K04883
• 负责人: 角館 俊行
• 金额: $ 2.75万
• 依托单位: Hachinohe National College of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2022
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2022-04-01 至 2027-03-31
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-22K04883/
• 关键词: 走査トンネル顕微鏡; STM; グラフェン; 二次元材料; その場観察; オペランド計測; 電子構造; 吸着構造; その場計測

本研究では、グラフェンFETバイオセンサの特性向上を目的とし、走査トンネル顕微鏡(STM)を用いたその場/オペランド計測により、従来困難であった、グラフェンバイオセンサの実際の表面のリアルタイム分析を単分子レベルで行う。今年度は、上記その場/オペランド計測をデバイスの実動作環境に近い室温で行うために必要な、STMシステムの改良を新規STM試料ホルダとSTM探針ホルダの設計・製作を中心に行った。本校八戸高専の技術職員と共同で、本校ものづくりセンターにて、デバイス用独立電極を有する新規試料ホルダと探針ホルダを新たに作製した。作製した試料ホルダ・探針ホルダの動作テストを行うために、実際の試料ホルダ・探針ホルダを用いて、HOPG (高配向性熱分解グラファイト)のSTM観察を室温で行ったところ、既存の試料ホルダ・探針ホルダを用いて得られたHOPGのSTM像と同様の明瞭なSTM像を得ることができた。この結果は、今後の研究に用いる、新規試料ホルダ・探針ホルダの開発に成功し、STMシステムの第一段階の改良が達成されたことを実証している。また、STMシステムの改良だけでなく、グラフェンバイオセンサの特性向上に向け、グラフェンをはじめとする、六方晶窒化ホウ素、二硫化モリブデンなどの二次元材料の熱CVD法による結晶成長技術や転写技術の開発と最適化を研究分担者と進めた。さらに、二次元材料や機能性分子等のSTM観察と計測技術開発も行った。

In this study, the characteristics of FET sub-surface are studied. The field/color characteristics of STM are measured using a micro-mirror (STM). It is difficult to analyze the surface characteristics of FET sub-surface. This year, we will record the design and manufacture of STM probe in the near room temperature environment. The technical staff of the university jointly worked with the independent electrode of the university. In the process of preparing the sample probe, the STM image of HOPG (high alignment thermal decomposition group) was obtained at room temperature. The results indicate that the development of the new sample probe is successful and the first stage of STM system improvement is achieved. The improvement of STM structure and its characteristics are oriented upward and upward. The thermal CVD method of hexagonal crystalline silicon and disulfide is a research contributor to the development and optimization of crystal growth technology and writing technology. STM detection and measurement technology development for carbon, secondary materials and functional molecules