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放射線プロセスによる位置制御可能なケミカルフリー水中酸化物結晶生成法の確立

辐射过程水中位置可控无化学氧化物晶体形成方法的建立

基本信息

批准号：
22K04986
负责人：
岡本一将
金额：
$ 2.58万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2022
资助国家：
日本
起止时间：
2022-04-01 至 2025-03-31
项目状态：
未结题

项目摘要

現在様々な分野で、金属を含む微細粒子の形成・利用を行う研究が広く展開され、より高効率で環境負荷が少ない生成プロセス開発が求められている。本研究では、放射線照射を用いた、水中での金属酸化物ナノ結晶の位置制御された形成プロセスの開発を行う。金属含有のパターニング材料（フォトレジスト）を結晶成長の種（種結晶）として水中で結晶成長させることで、リソグラフィ技術と組み合わせることにより直接的に10 nm以下の超微細な金属酸化物結晶の位置制御を可能とする。また、環境汚染の恐れのある金属塩の還元反応を用いず、金属材料自身をソースとする高放射線場でのケミカルフリー金属酸化物結晶成長手法を確立する。種結晶形成および結晶成長の放射線化学反応の詳細を解明することで、一貫した放射線プロセスでの超微細酸化物結晶成長手法を実現させる。これまで、環境負荷が小さく温和な条件で、位置制御された金属酸化物結晶の生成を行う手法は確立されていない。そこで、放射線プロセスを用いる、有機無機ハイブリッドレジストのパターニング法と水中結晶成長法を組み合わせ、位置制御されたケミカルフリー条件での金属酸化物構造体形成を行う手法の開発が本研究の目的である。そのために、種結晶となる有機無機ハイブリッドレジストと水中結晶成長の反応機構とをそれぞれ明らかにする。今年度は上記目的を達成するために種結晶である電子線およびイオンビーム照射による有機無機ハイブリッドレジストの物性および加工プロセス評価ならびにガンマ線、紫外線照射および水熱反応による水中酸化亜鉛結晶成長およびレジストをマスクとする位置制御に関する研究を実施した。

At present, the formation of micro-particles in metals and metals is based on the development of industrial research and the development of high-rate environmental pollution. In this study, the temperature, radiation exposure temperature and the crystallization position of metal acidates in water control the formation of high temperature and low temperature operation. It is possible to control the crystallization position of ultra-fine metal acids under 10 nm directly by means of the combination of the mechanical properties of metallic materials (rare earth alloys), the growth of different kinds of ultrafine metal acids (two kinds of crystals), the growth of ultrafine metal acids in water, and the mechanical properties of metal acids under 10 mol. The temperature and environmental pollution are affected by the chemical reaction of the metal alloy, the high radiation field temperature of the metal material and the growth of metal acids. the method of crystal growth is established. All kinds of crystals are formed by means of crystal growth, and the results are analyzed by chemical reaction spectroscopy, and the crystal growth techniques of ultra-micronized acid compounds are analyzed by X-ray emission spectroscopy. In the environment, under mild conditions, and in a position to control the crystallization of metal acidates, the operation method is established to ensure that it is necessary. In this study, the combination of crystal growth in water, location control and the formation of metal acids. the formation of metal acids. the purpose of this study is to improve the quality of metal acids. in this paper, we use the method of combination of crystal growth in water, position control, and the formation of metal acids. the purpose of this study is to determine the conditions for the formation of metal acids. There is no machine or machine to verify the growth of the crystal in the water, and the reaction mechanism is responsible for the verification of the information. The results recorded in this year show that there is no mechanism for the processing of mechanical properties, the processing of thermal properties, the growth of acidizing crystals in water, and the application of UV radiation in water.