Komposit-Materialien aus molekularen Precursoren über Tandem CVD und Sol-Gel Techniken

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Über die Kombination von Gasphasenmethoden (CVD) mit nasschemischen Methoden (Sol-Gel) soll ein Verfahren etabliert werden, bei dem mehrschichtige Filme entstehen, die im Prinzip aus einer kinetisch labilen und einer thermodynamisch stabilen Phase bestehen. Derartige Zweischicht- bzw. Mehrschichtsysteme lassen sich über physikalische Methoden (z. B. über Laser) strukturieren, wobei die Metastabilität der einen Phase ausgenutzt wird. In den verbleibenden zwei Jahren sollen Schichtsysteme wie HAlO/SiO2, Sn·SnO2/SiO2 etc. aufgebaut werden. Die dargestellten Mehrlagensysteme sollen in einer kontinuierlichen Anlage produziert und strukturiert werden und können als Sub- Mikrometer strukturiertes Material z. B. als Hologramme Verwendung finden. Die nötige Verfahrenstechnische Seite soll die Übergänge zwischen Sol-Gel-Technologie, Gasphasenabscheidung und Laser-Strukturierung zu überwinden helfen.