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Planar-integriertes Mikrosystem aus Hohlkathoden-Plasmagenerator und optischem Kollektor für die spektroskopische Gasanalytik

由空心阴极等离子体发生器和光学收集器组成的平面集成微系统，用于光谱气体分析

基本信息

批准号：
60864294
负责人：
Privatdozent Dr. Joachim Franzke
金额：
--
依托单位：
Leibniz-Institut für Analytische Wissenschaften -ISAS- e.V.
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2008
资助国家：
德国
起止时间：
2007-12-31 至 2010-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/60864294?language=en
关键词：
Planar integriertes Mikrosystem aus Hohlkathoden

项目摘要

Ziel des geplanten Forschungsvorhabens ist die Realisierung und prozesstechnische Optimierung von Mikrosystemen zur physikalisch-chemischen Gasanalyse mittels Plasma-Emissionsspektroskopie. Auf einer gemeinsamen auf dem planaren Integrationskonzept basierenden mikrosystemtechnischen Plattform sollen, wie in Abb. 4 schematisch skizziert, ein Mikro-Hohlkathoden-Plasmagenerator und eine Kollektoroptik integriert werden. Letztere hat die Aufgabe, das zu analysierende Licht in ein Bündel von Fasern einzukoppeln und einem Spektrometer zuzuführen. Durch die Verwendung mehrerer Fasern und eine Formanpassung des kohärenten Bündels an den Eintrittsspalt des Spektrometers lässt sich dabei die energetische Effizienz stark verbessern. Das Plasmagenerator-Kollektor-Modul soll mit einer Kombination aus spanabhebenden und auf Planartechnologien basierenden Verfahren hergestellt werden. Die Anregung der Plasmaentladung soll materialschonend mit Wechselspannung im RF-Bereich erfolgen. Es ist vorgesehen, einen speziell angepassten geregelten Hochfrequenzverstärker zu konstruieren, der die Gasentladung bestmöglich elektrisch stabilisiert, so dass das Rauschen minimiert und die chemisch-analytische Nachweisempfindlichkeit optimiert wird. In verschiedenen Experimenten soll das Mikrosystem plasma-physikalisch charakterisiert, spektroskopisch kalibriert und für chemisch-analytische Testmessungen eingesetzt werden.

该研究旨在实现物理化学气体分析中的微系统的实现和技术优化。 Auf einer gemeinsamen auf dem planaren Integrationskonzept basierenden mikrosystemtechnischen Platform sollen, wie in Abb. 4 原理图、等离子发生器和集成的 Kollektoroptik。在此过程中，您可以在 Fasern 和 Spektrometer zuzuführen 中进行分析。在使用时，请注意以下事项： 1. 光谱仪的使用和使用方法是光谱仪的重要组成部分，即能量效率。 Das Plasmagenerator-Kollektor-Modul 是一种结合了西班牙和平面技术的组合。等离子材料的调整与 RF-Bereich erfolgen 中的 Wechselspannung 相同。这是重要的，它是对设计的高频率、最佳的电气稳定、最小化和化学分析的最佳化的优化。在微系统实验中，等离子体物理特性、光谱校准和化学分析测试均已完成。