近赤外光源を用いた斜入射干渉計によるきさげ表面微細形状の大面積精密三次元計測
近赤外光源を用いた斜入射干渉計によるきさげ表面微細形状の大面積精密三次元計測
使用近红外光源的掠入射干涉仪对刮擦表面的精细形状进行大面积精密三维测量
批准号：
23K03606
负责人：
伊東 聡
金额：
$3.0万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2026-03-31
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走査型ナノピペットプローブ顕微鏡を用いたアトリットル堆積量制御法の開発
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批准号：11J10578
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项目类别：Grant-in-Aid for JSPS Fellows
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资助金额：$0.45万
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财政年份：2011
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负责人：伊東 聡
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依托单位：
海外基金