Novel group-IV nitride films by reactive sputtering as potential nonlinear optical materials in Si photonics
Novel group-IV nitride films by reactive sputtering as potential nonlinear optical materials in Si photonics
反应溅射新型 IV 族氮化物薄膜作为硅光子学中潜在的非线性光学材料
批准号：
23K03941
负责人：
PiedraLorenzana JoseAlberto
金额：
$2.91万
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2023
资助国家：
日本
项目状态：
未结题
起止时间：
2023-04-01 至 2026-03-31
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