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ミクロ電界蒸発による微細磁気構造の形成とその結晶成長過程の研究

微场蒸发精细磁性结构形成及其晶体生长过程研究

基本信息

批准号：
09875149
负责人：
島田寛
金额：
$ 1.41万
依托单位：
Tohoku University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Exploratory Research
财政年份：
1997
资助国家：
日本
起止时间：
1997 至 1998
项目状态：
已结题

项目摘要

磁性ドットおよび細線を形成できる原子間力顕微鏡のプローブ表面にAuおよびCoの薄膜を形成し、プローブ-基板間にパルス電圧を印加して、ドット形成実験を行った。その結果、以下の結果が得られた。1) 従来、基板面にドットが形成される機構は、プローブ表面の高い電界による電界蒸発の機構であるとされてきたが、ドット形成時にプローブ-基板間に流れるパルス電流を測定した結果、電界蒸発ではなく、基板表面にある薄い絶縁層が絶縁破壊することによってパルス電流が流れ、そのジュウル熱によってプローブ表面の金属が基板上にドットとして形成されることがわかった。2) これに基づいて、電圧印加用電源の電流値を制御することによって、10〜200nmサイズのAuおよびCoのドットを形成できた。このドットは、数100箇の形成が可能であったが、磁性測定、結晶構造同定に充分な量には至っていない。プローブ表面の原子移動を促すために高温での実験を試みたが、充分な量には至らなかった。3) 次に、数nmスケールの微細パターンを形成するために、Siの表面を酸化し、電圧を印加しつつ走査すると、巾数nmのパターンが描けることがわかった。このパターンをマスクとして、電着による磁性膜パターンの形成を試みたが、未だ成功していない。本研究の成果は以下の通りである。1) 原子間力顕微鏡による微小体形成機構は、電界蒸発とされてきたが、パルス電流による加熱効果であることが明らかとなった。2) 導体基板の表面を酸化することにより、微細なマスクパターンが得られることがわかった。

Magnetic particles and fine lines are formed on the surface of the atomic force microscope. Au and Co thin films are formed on the surface of the atomic force microscope. The surface voltage between the atomic force microscope and the substrate is formed on the surface of the atomic force microscope. The following results were obtained. 1)When the substrate is formed, the mechanism for the formation of the substrate surface and the mechanism for the evaporation of the high electric field on the substrate surface are measured. When the substrate is formed, the mechanism for the evaporation of the high electric field on the substrate surface and the mechanism for the evaporation of the high electric field on the substrate surface are measured. The metal on the surface of the substrate is formed into a thin layer. 2)The current value of the power supply for the base voltage is controlled by the voltage of 10 ~ 200nm. It is possible to form 100 crystals, magnetic measurement and crystal structure determination. The atomic movement of the surface of the film is promoted by the high temperature and the high temperature. 3)The surface of Si is acidified, and the voltage is measured. The formation of the magnetic film is not successful. The results of this study are as follows. 1)Atomic force micro-mirror micro-body formation mechanism, electric field evaporation, electric current heating effect 2)The surface of the conductor substrate is acidified, and the fine surface is acidified.