シリコン表面における初期酸化過程の解明

阐明硅表面的初始氧化过程

基本信息

  • 批准号:
    97J01579
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.15万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for JSPS Fellows
  • 财政年份:
    1998
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1998 至 1999
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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  • DOI:
  • 发表时间:
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  • 影响因子:
    0
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  • 通讯作者:
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知道了