水素終端されたシリコン上の超微粒子の成長メカニズム
水素終端されたシリコン上の超微粒子の成長メカニズム
批准号:
08750013
负责人:
大島 義文
金额:
$0.64万
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份:
1996
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
1996 至 --
中文摘要
本研究を達成するため、以下に上げる2点について実験を行い、成果をおさめた。ひとつは、透過型電子顕微鏡で観察を行うため、清浄な表面をもった厚さ10nm程度の薄い薄膜を作成することである。試料作成方法、試料の固定方法、シニング方法などノウハウを確立し、清浄な表面をもつシリコン薄膜を観察できるようにした。もう一つは、微粒子作成方法の検討である。平坦な表面持つ材料としてグラファイトを選び、グラファイト基板にクロムを数nm程度蒸着することを試みた。蒸着方法としては、electron bombardment方式を採用した。これは、クロムが高融点金属であるためである。蒸着装置を作製し、基板温度300度でクロムを蒸着したところ、結晶構造がA15型で微粒子が生成していることがわかった。得られた像は、パソコンに入力し、形状や格子間隔の測定を行った。これにより、クロム微粒子は、グラフィアイト基板にエピタキシャル成長していることがわかった。
英文摘要
本研究を達成するため、以下に上げる2点について実験を行い、成果をおさめた。ひとつは、透過型電子顕微鏡で観察を行うため、清浄な表面をもった厚さ10nm程度の薄い薄膜を作成することである。試料作成方法、試料の固定方法、シニング方法などノウハウを確立し、清浄な表面をもつシリコン薄膜を観察できるようにした。もう一つは、微粒子作成方法の検討である。平坦な表面持つ材料としてグラファイトを選び、グラファイト基板にクロムを数nm程度蒸着することを試みた。蒸着方法としては、electron bombardment方式を採用した。これは、クロムが高融点金属であるためである。蒸着装置を作製し、基板温度300度でクロムを蒸着したところ、結晶構造がA15型で微粒子が生成していることがわかった。得られた像は、パソコンに入力し、形状や格子間隔の測定を行った。これにより、クロム微粒子は、グラフィアイト基板にエピタキシャル成長していることがわかった。
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科研奖励(0)
会议论文
Static and dynamic friction response of metallic nano-contacts by microscopic nanomechanical measurement
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批准号:23H00255
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
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资助金额:$29.2万
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财政年份:2023
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负责人:大島 義文
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依托单位:
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批准号:12740178
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项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
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资助金额:$1.41万
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财政年份:2000
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负责人:大島 義文
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依托单位:
国内基金
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聚合物超微粒子增强弹性体新方法及复合体系界面性质的研究
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批准号:10476014
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项目类别:面上项目
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依托单位: