Zeitaufgelöste Beobachtung und Modellierung der Entstehung laserinduzierter Nanostrukturen

在Vorhaben和Dielektrika的理论和实验中，我们将看到金属纳米结构的出现。在此基础上，提出了一种新的纳米喷嘴和形成纳米颗粒的方法，并对此进行了研究。泵-探头-MESSTECHNIKEN，Bsierend auf EUV-Mikroskopie and Optischer Messtechnik Wen zur Untersusuung der StrukturentsteHungsDynamik MIT groüer zeitlicher and räumlicher Auflöung angewendet.对物理过程和动态过程的分析，以及对技术和技术的评估，以及对激光的超高分辨率。在我们的原子模拟和验证模型的过程中，这些信息都是错误的。从实验和理论上看，100 nm以下的激光工业是一种新型的激光工业技术。在这一阶段，我们将创新激光技术，使之成为一种新型的纳米技术。在那里的一个悲痛的阶段是一个新的时代和经济的发展模式-(Riffel-)Sowie De Strukturierung von Halbleturiern and Dielektrika augedehnt。我们的国家和地区有十个国家和地区的激光工业应用项目，即纳米结构，也就是纳米天线和光纤，这些都是激光的特点。

In diesem Vorhaben wird die laserinduzierte Nanostrukturierung von Metallen, Halbleitern und Dielektrika theoretisch und experimentell erforscht. Untersucht werden insbesondere die Entstehungsdynamik von, mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung hergestellten Nanobumps bzw. –jets und die Formation von selbstorganisierten, periodischen Riffelstrukturen bei Bestrahlung mit Mehrfachpulsen. Pump-Probe-Messtechniken, basierend auf EUV-Mikroskopie und optischer Messtechnik werden zur Untersuchung der Strukturentstehungsdynamik mit großer zeitlicher und räumlicher Auflösung angewendet. Dies ermöglicht die Analyse der noch nicht geklärten physikalischen Prozesse und komplexen dynamischen Vorgänge, und darüber hinaus die Evaluierung der technischen Grenzen bei der Materialbearbeitung mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung. Die Ergebnisse der zeitaufgelösten Messungen fließen in eine atomistisch-kontinuumsphysikalische Simulation ein und dienen der Verifikation des Modells. Die Synergie von experimentellen und theoretischen Untersuchungen wird zur fundamentalen Klärung der Entstehung von Femtosekundenlaser-induzierten Sub-100-nm-Strukturen genutzt. In der ersten Projektphase wurde die innovative Laserbearbeitungstechnologie zur Herstellung der Nanostrukturen etabliert und weiterentwickelt. In der hier beantragten Phase werden die grundlegenden zeitaufgelösten Untersuchungen und die Modellierung der Entstehungsdynamik auf Oberflächen-(Riffel-)Strukturen sowie die Strukturierung von Halbleitern und Dielektrika ausgedehnt. Darüber hinaus werden in dem anwendungsorientierten Teil dieses Projektes verschiedene Applikationen von laserinduzierten Nanostrukturen wie die Durchkontaktierung von Dünnschichtsystemen, Nanoantennen für die optische Rasternahfeldmikroskopie und die plasmonische Kollimation von Diodenlaserstrahlung realisiert, charakterisiert und bewertet.