Zeitaufgelöste Beobachtung und Modellierung der Entstehung laserinduzierter Nanostrukturen

激光诱导纳米结构形成的时间分辨观察和建模

• 批准号: 79254975
• 负责人: Dr. Dmitry Ivanov
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Lasertechnik (LLT)
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Priority Programmes
• 财政年份: 2009
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2008-12-31 至 2015-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/79254975?language=en
• 关键词: Zeitaufgel; ste; Beobachtung; und; Modellierung

In diesem Vorhaben wird die laserinduzierte Nanostrukturierung von Metallen, Halbleitern und Dielektrika theoretisch und experimentell erforscht. Untersucht werden insbesondere die Entstehungsdynamik von, mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung hergestellten Nanobumps bzw. –jets und die Formation von selbstorganisierten, periodischen Riffelstrukturen bei Bestrahlung mit Mehrfachpulsen. Pump-Probe-Messtechniken, basierend auf EUV-Mikroskopie und optischer Messtechnik werden zur Untersuchung der Strukturentstehungsdynamik mit großer zeitlicher und räumlicher Auflösung angewendet. Dies ermöglicht die Analyse der noch nicht geklärten physikalischen Prozesse und komplexen dynamischen Vorgänge, und darüber hinaus die Evaluierung der technischen Grenzen bei der Materialbearbeitung mit ultrakurz gepulster Laserstrahlung. Die Ergebnisse der zeitaufgelösten Messungen fließen in eine atomistisch-kontinuumsphysikalische Simulation ein und dienen der Verifikation des Modells. Die Synergie von experimentellen und theoretischen Untersuchungen wird zur fundamentalen Klärung der Entstehung von Femtosekundenlaser-induzierten Sub-100-nm-Strukturen genutzt. In der ersten Projektphase wurde die innovative Laserbearbeitungstechnologie zur Herstellung der Nanostrukturen etabliert und weiterentwickelt. In der hier beantragten Phase werden die grundlegenden zeitaufgelösten Untersuchungen und die Modellierung der Entstehungsdynamik auf Oberflächen-(Riffel-)Strukturen sowie die Strukturierung von Halbleitern und Dielektrika ausgedehnt. Darüber hinaus werden in dem anwendungsorientierten Teil dieses Projektes verschiedene Applikationen von laserinduzierten Nanostrukturen wie die Durchkontaktierung von Dünnschichtsystemen, Nanoantennen für die optische Rasternahfeldmikroskopie und die plasmonische Kollimation von Diodenlaserstrahlung realisiert, charakterisiert und bewertet.

本文主要研究了激光致发光、金属纳米结构、半导体和电致发光的理论研究和实验研究。研究结果表明，超超脉冲激光对纳米微凸点的影响是不可避免的。[3]射流与流体的形成与演化，动力学与动力学。泵-探针- messtechniken，基于euv - microskopie和光学Messtechnik的研究，Messtechnik和Messtechnik和Messtechnik和Messtechnik的研究，研究了Messtechnik和Messtechnik的结构和动力学。模具ermöglicht模具分析与分析geklärten physikalischen Prozesse und komplexen dynamischen Vorgänge， und darinaus模具评估与技术分析与研究（Evaluierung der technischen Grenzen bei der materialbearbeung mit ultra - kurz gepulster Laserstrahlung）。Die Ergebnisse der zeitaufgelösten Messungen fly ßen in eine atomistisch- kontinuumphysilische Simulation in and dienen der verify of models。实验与理论的协同作用研究[endnotersuchungen gen .] [endnotersuchungen .]在西部项目阶段，激光轴承技术的创新，如纳米结构的建立和激光技术的发展。在der hier beantragten Phase werden die grundlegenden zeitaufgelösten Untersuchungen and die Modellierung der Entstehungsdynamik auf Oberflächen-(Riffel-)Strukturen sowie die Strukturierung von halbletern and dieelektrika ausgedehnt。纳米天线技术应用系统、纳米天线技术应用系统、纳米天线技术应用系统、纳米天线技术应用系统、纳米天线技术应用系统、纳米天线技术应用系统、纳米天线技术应用系统、纳米天线技术应用系统、等离子体技术应用系统。