Herstellung und Eigenschaften von elektrochemisch abgeschiedenen Kupferkompositschichten mit eingelagerten Kohlenstoffnanoröhren

这是一种特殊的机械结构，它的特征是机械、电气、磁力、语言等。金属矩阵--它是一种新型的金属材料，在金属工业的特征研究中占有重要地位，是一种最优化的方法。以Dünnschichtform的形式进行了电化学反应的实验和理论研究。这是一个很好的解决办法，它是一种新的经济机制，也是一种广泛的跨国工业迁移。他说：“这是一项非常重要的工作，我们将继续努力工作。”我们发现了10个碳纳米管的磁性，其中包括了各种不同性质的碳纳米管的磁性。Ein Weiteres ZIel is Dive Contersusuung Der Grizflächenhaftung zwitchen CNT and Kupfer MIT Pull-Examenten

Ziel des vorliegenden Projektes ist es, die mechanischen Eigenschaften von Dünnschichten durch Einlagerung von Kohlenstoffnanoröhren (CNT) mit ihren charakteristischen mechanischen, elektronischen, thermischen und magnetischen Eigenschaften zu verbessern bzw. gezielt zu modifizieren. Metallmatrix-Kompositmaterialien stellen eine hochinteressante Werkstoffklasse dar, in der die Eigenschaften der Metalle mit denen der Einlagerungsphase in optimaler Weise miteinander verknüpft werden können. Die Eigenschaften der durch elektrochemischen Abscheidung hergestellten Komposite in Dünnschichtform werden experimentell und theoretisch mit aktuellen Cu- und Cu(Ag)-Legierungsschichten der Mikroelektronik verglichen. Es wird erwartet, dass bei derartigen CNT-Cu-Kompositschichten nicht nur die mechanischen Eigenschaften, sondern auch der Widerstand gegen spannungsinduzierte Migration im Vergleich zu Cu-Schichten erhöht sind. Die schlechte Benetzung des Kupfers auf den CNTs soll entweder über das Aufbringen einer extrem dünnen Ta- oder Ru-Zwischenschicht mittels der Atomlagenabscheidung (ALD) erfolgen oder durch Zugabe von Additiven zum Elektrolyten (Funktionalisierung der CNTs) verbessert werden. Des Weiteren soll auch an (magnetisch) gefüllten CNTs untersucht werden, inwieweit sich die magnetischen oder elektrischen Eigenschaften der Kompositschichten gezielt variieren lassen. Ein weiteres Ziel ist die intensive Untersuchung der Grenzflächenhaftung zwischen CNT und Kupfer mit Pull-Out-Experimenten