课题基金 / 基金详情

Herstellung und Eigenschaften von elektrochemisch abgeschiedenen Kupferkompositschichten mit eingelagerten Kohlenstoffnanoröhren

Herstellung und Eigenschaften von elektrochemisch abgeschiedenen Kupferkompositschichten mit eingelagerten Kohlenstoffnanoröhren
嵌入碳纳米管电化学沉积铜复合层的制备及性能
批准号:
92874263
负责人:
Dr. Thomas Gemming
金额:
$0.0万
依托单位国家:
德国
项目类别:
Research Grants
财政年份:
2008
资助国家:
德国
项目状态:
已结题
起止时间:
2007-12-31 至 2010-12-31

项目摘要

项目成果

Dr. Thomas Gemming的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
Ziel des vorliegenden Projektes ist es, die mechanischen Eigenschaften von Dünnschichten durch Einlagerung von Kohlenstoffnanoröhren (CNT) mit ihren charakteristischen mechanischen, elektronischen, thermischen und magnetischen Eigenschaften zu verbessern bzw. gezielt zu modifizieren. Metallmatrix-Kompositmaterialien stellen eine hochinteressante Werkstoffklasse dar, in der die Eigenschaften der Metalle mit denen der Einlagerungsphase in optimaler Weise miteinander verknüpft werden können. Die Eigenschaften der durch elektrochemischen Abscheidung hergestellten Komposite in Dünnschichtform werden experimentell und theoretisch mit aktuellen Cu- und Cu(Ag)-Legierungsschichten der Mikroelektronik verglichen. Es wird erwartet, dass bei derartigen CNT-Cu-Kompositschichten nicht nur die mechanischen Eigenschaften, sondern auch der Widerstand gegen spannungsinduzierte Migration im Vergleich zu Cu-Schichten erhöht sind. Die schlechte Benetzung des Kupfers auf den CNTs soll entweder über das Aufbringen einer extrem dünnen Ta- oder Ru-Zwischenschicht mittels der Atomlagenabscheidung (ALD) erfolgen oder durch Zugabe von Additiven zum Elektrolyten (Funktionalisierung der CNTs) verbessert werden. Des Weiteren soll auch an (magnetisch) gefüllten CNTs untersucht werden, inwieweit sich die magnetischen oder elektrischen Eigenschaften der Kompositschichten gezielt variieren lassen. Ein weiteres Ziel ist die intensive Untersuchung der Grenzflächenhaftung zwischen CNT und Kupfer mit Pull-Out-Experimenten
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Lokale Messung innerer Dehnungen mit konvergenter Elektronenbeugung in Al- und Cu-Leiterbahnen von Oberflächenwellenfiltern
  • 批准号:
    5388874
  • 项目类别:
    Research Grants
  • 资助金额:
    $0.0万
  • 财政年份:
    2003
  • 负责人:
    Dr. Thomas Gemming
  • 依托单位:
Development of a high-energy-, high-spatial-, and high-momentum-resolution electron energy loss spectrometer with liquid-Helium cooling stage (HR3-EEL spectrometer)
海外基金