Herstellung und Eigenschaften von elektrochemisch abgeschiedenen Kupferkompositschichten mit eingelagerten Kohlenstoffnanoröhren

嵌入碳纳米管电化学沉积铜复合层的制备及性能

基本信息

批准号：
92874263
负责人：
Dr. Thomas Gemming
金额：
--
依托单位：
Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden (IFW) e.V.
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2008
资助国家：
德国
起止时间：
2007-12-31 至 2010-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/92874263?language=en
关键词：
Herstellung und Eigenschaften von elektrochemisch

项目摘要

Ziel des vorliegenden Projektes ist es, die mechanischen Eigenschaften von Dünnschichten durch Einlagerung von Kohlenstoffnanoröhren (CNT) mit ihren charakteristischen mechanischen, elektronischen, thermischen und magnetischen Eigenschaften zu verbessern bzw. gezielt zu modifizieren. Metallmatrix-Kompositmaterialien stellen eine hochinteressante Werkstoffklasse dar, in der die Eigenschaften der Metalle mit denen der Einlagerungsphase in optimaler Weise miteinander verknüpft werden können. Die Eigenschaften der durch elektrochemischen Abscheidung hergestellten Komposite in Dünnschichtform werden experimentell und theoretisch mit aktuellen Cu- und Cu(Ag)-Legierungsschichten der Mikroelektronik verglichen. Es wird erwartet, dass bei derartigen CNT-Cu-Kompositschichten nicht nur die mechanischen Eigenschaften, sondern auch der Widerstand gegen spannungsinduzierte Migration im Vergleich zu Cu-Schichten erhöht sind. Die schlechte Benetzung des Kupfers auf den CNTs soll entweder über das Aufbringen einer extrem dünnen Ta- oder Ru-Zwischenschicht mittels der Atomlagenabscheidung (ALD) erfolgen oder durch Zugabe von Additiven zum Elektrolyten (Funktionalisierung der CNTs) verbessert werden. Des Weiteren soll auch an (magnetisch) gefüllten CNTs untersucht werden, inwieweit sich die magnetischen oder elektrischen Eigenschaften der Kompositschichten gezielt variieren lassen. Ein weiteres Ziel ist die intensive Untersuchung der Grenzflächenhaftung zwischen CNT und Kupfer mit Pull-Out-Experimenten

主角是世界发展的第一步，世界的主角是世界发展（CNT）的第一步，世界主人公是世界发展的第一步。 Metallmatrix-Kompositmate材料是世界发展的第一步，世界的主角是世界发展的第一步。 einlagerungsphase Weise MiteinanderVerknüpftWerdenKönnen中的einlagerungsphase。 Dünnschichtform的eigenschaften der der der der elektrochemischen abscheidung hergeSeltten kompomposite werden persimentell und theoreTisch mit aktuellen cu- und cu- und cu（ag）-Legierungssschichchichten der Mikroelelekroelelektronik verglichen。 Es Wird Erwartet，Dass Bei Derartigen CNT-CU-KOMPOSITSCHICHTEN NICHT NUR DIE MEGHENISCHEN EIGENSCHAFTEN，Sondern auch th the Benetzung是全世界的流行目的地。 Benetzung des Cnts是Auf den Cnts，而Ta-Oder Ru-Zwischenschenschicht Mittels（ALD）Oder Durch Zugabe Zugabe Addive Zum Elektrolyten（funktionalisierung der cnts）Verbessert Werden。（Magnetisch）CNT不可能，并邀请人们帮助您解决此事的想法。我们正在Ziel谋生，Ziel死于Grenzflächenhaftung，由CNT和KUPFER MIT撤消 - 探索