Herstellung und Eigenschaften von elektrochemisch abgeschiedenen Kupferkompositschichten mit eingelagerten Kohlenstoffnanoröhren

Ziel des vorliegenden Projektes is es，die mechanischen Eigenschaften von Dünnschichten durch Einlagerung von Kohlenstoffnanoröhren（CNT）mit ihren charakteristischen mechanischen，elektronischen，thermischen and magnetischen Eigenschaften zu verbessern bzw.让我们来修改一下。Metallmatrix-Compositimealien stellen eine hochinterestante Werkstoffklasse dar，in der die Eigenschaften der Metalle mit denen der Einlagerungsanase in optimaler Weise miteinander verknüpft韦尔登können. Dünschichtform中通过电化学吸收的复合材料的特性是用微电子学中的Cu-和Cu（Ag）-发光材料进行实验和理论研究的结果。因此，CNT-Cu复合材料的研究不仅仅是本征机制的研究，更重要的是，在Cu-Cu复合材料中广泛存在的迁移现象。碳纳米管上的吸附剂的选择需要通过原子吸收（ALD）或添加剂（碳纳米管的功能）来实现韦尔登。Des Weiteren soll auch an（magnetisch）gefüllten CNTs untersucht韦尔登，inwieweit sich die magnetischen oder elektrischen Eigenschaften der Compositschichten gezielt variieren lassen.一种新的方法是用拔出实验对碳纳米管和铜的粘结强度进行深入研究

Ziel des vorliegenden Projektes ist es, die mechanischen Eigenschaften von Dünnschichten durch Einlagerung von Kohlenstoffnanoröhren (CNT) mit ihren charakteristischen mechanischen, elektronischen, thermischen und magnetischen Eigenschaften zu verbessern bzw. gezielt zu modifizieren. Metallmatrix-Kompositmaterialien stellen eine hochinteressante Werkstoffklasse dar, in der die Eigenschaften der Metalle mit denen der Einlagerungsphase in optimaler Weise miteinander verknüpft werden können. Die Eigenschaften der durch elektrochemischen Abscheidung hergestellten Komposite in Dünnschichtform werden experimentell und theoretisch mit aktuellen Cu- und Cu(Ag)-Legierungsschichten der Mikroelektronik verglichen. Es wird erwartet, dass bei derartigen CNT-Cu-Kompositschichten nicht nur die mechanischen Eigenschaften, sondern auch der Widerstand gegen spannungsinduzierte Migration im Vergleich zu Cu-Schichten erhöht sind. Die schlechte Benetzung des Kupfers auf den CNTs soll entweder über das Aufbringen einer extrem dünnen Ta- oder Ru-Zwischenschicht mittels der Atomlagenabscheidung (ALD) erfolgen oder durch Zugabe von Additiven zum Elektrolyten (Funktionalisierung der CNTs) verbessert werden. Des Weiteren soll auch an (magnetisch) gefüllten CNTs untersucht werden, inwieweit sich die magnetischen oder elektrischen Eigenschaften der Kompositschichten gezielt variieren lassen. Ein weiteres Ziel ist die intensive Untersuchung der Grenzflächenhaftung zwischen CNT und Kupfer mit Pull-Out-Experimenten