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(a) Microelectro mechanical system (MEMS) (b) Vacuum technology
(a) 微机电系统 (MEMS) (b) 真空技术
基本信息
- 批准号：4317-1998
- 负责人：
- 金额：$ 0.89万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Discovery Grants Program - Individual
- 财政年份：1998
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：1998-01-01 至 1999-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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- 作者：
Lawson, Ronald;Cragun, Ryan T. - 通讯作者：
Cragun, Ryan T.
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(a) Microelectro mechanical system (MEMS) (b) Vacuum technology
(a) 微机电系统 (MEMS) (b) 真空技术
- 批准号：
4317-1998 - 财政年份：2001
- 资助金额：
$ 0.89万 - 项目类别：
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- 资助金额：
$ 0.89万 - 项目类别：
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