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Industrial gas sensing using silicon micro hot-plates with ceramic thin films
使用带有陶瓷薄膜的硅微热板进行工业气体传感
基本信息
- 批准号：193601-1996
- 负责人：
- 金额：$ 3.64万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：National Research Council / NSERC Research Partnership
- 财政年份：1999
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：1999-01-01 至 2000-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Industrial gas sensing using silicon micro hot-plates with ceramic thin films
使用带有陶瓷薄膜的硅微热板进行工业气体传感
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193601-1996 - 财政年份：1998
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