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RF sputtering system
射频溅射系统
基本信息
- 批准号：197106-1997
- 负责人：
- 金额：$ 2.19万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
- 财政年份：1996
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：1996-01-01 至 1997-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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