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Study on nano fabrication/metrology based on spatiotemporal localized photon energy for next-generation manufacturing
基于时空局部光子能量的纳米制造/计量研究，用于下一代制造
基本信息
- 批准号：411883-2011
- 负责人：
- 金额：$ 2.91万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：JSPS Researcher Exchange Program
- 财政年份：2011
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2011-01-01 至 2012-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
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项目成果
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Takahashi, Satoru其他文献
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Nishihara, Shoko
Takahashi, Satoru的其他文献
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