Developpement et optimisation de reacteurs hybrides ablation par laser pulsé/pulvérisation cathodique pour l'élaboration de couches minces

激光脉冲混合烧蚀/阴极粉碎反应器的开发和优化

基本信息

  • 批准号：
    469027-2014
  • 负责人：
    Nouar, Rafik
  • 金额：
    $ 2.19万
  • 依托单位：
    Plasmionique Inc.
  • 依托单位国家：
    加拿大
  • 项目类别：
    Industrial R&D Fellowships (IRDF)
  • 财政年份：
    2016
  • 资助国家：
    加拿大
  • 起止时间：
    2016-01-01 至 2017-12-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

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项目成果

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