Évaluation du potentiel commercial pour la nouvelle technologie sans silane pour le dépôt chimique en phase vapeur de films minces à base de silicium
Évaluation du potentiel commercial pour la nouvelle technologie sans silane pour le dépôt chimique en phase vapeur de films minces à base de silicium
批准号:
536743-2019
负责人:
Aktik, Cétin
金额:
$1.09万
依托单位:
依托单位国家:
加拿大
项目类别:
Idea to Innovation
财政年份:
2018
资助国家:
加拿大
项目状态:
已结题
起止时间:
2018-01-01 至 2019-12-31
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英文摘要
L'une des dernières étapes de la fabrication des cellules solaires en silicium est l'application de revêtements de passivation et antireflet afin d'optimiser l'efficacité de la cellule. Au cours de cette étape de fabrication, le silane (SiH4) est l'un des gaz spéciaux utilisés dans le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) pour générer les films minces à base de Si sur le dispositif photovoltaïque. Le problème avec SiH4 est sa pyrophoricité. En effet, le SiH4 est un gaz composé de silicium et d'hydrogène qui explose au contact de l'air. Il nécessite donc des procédures de sécurité et de manipulation coûteuses, multipliant les risques financiers et opérationnels des fabricants. Une invention, élaborée par des chercheurs de l'Université de Sherbrooke et de l'Université Bishop's, vise à être la «clé de l'amélioration des coûts de l'énergie solaire» en offrant aux fabricants de cellules solaires une solution peu coûteuse pour éliminer les risques du silane.**L'invention permet de produire un mélange de diméthylsilane et de triméthylsilane (DMS / TMS) à utiliser en tant que précurseur du procédé CVD de dépôt de films minces de grade électronique à base de Si (telles que, mais sans limiter : carbure, carbonitrure, oxycarbure, oxycarbonitrure). Ce précurseur peut remplacer le SiH4 dangereux, en le mélangeant avec du CH4, du C2H2 ou d'autres composés contenant du carbone, des précurseurs couramment utilisés aujourd'hui.**Cette étude de marché permettra tout d'abord de recenser les partenaires industriels potentiels et ceux ayant le plus d'intérêts envers le projet. L'objectif est de quantifier ce marché et d'en évaluer les caractéristiques, particulièrement au niveau des facteurs facilitant l'acceptation de notre technologie. Nous voulons aussi estimer la proportion des utilisateurs finaux qui seraient intéressés par un procédé CVD sans-silane comme le nôtre et voir comment notre procédé se positionne par rapport aux procédés concurrents (tant au niveau des caractéristiques techniques qu'au niveau des coûts). ******
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会议论文
Transistors de puissance en GaAs
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批准号:89726-2000
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$0.77万
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财政年份:2000
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Cristallogenese des composes inGaAs
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批准号:89726-1996
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.54万
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财政年份:1999
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Cristallogenese des composes inGaAs
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批准号:89726-1996
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.47万
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财政年份:1998
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Cristallogenese des composes inGaAs
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批准号:89726-1996
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.34万
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财政年份:1997
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Cristallogenese des composes inGaAs
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批准号:89726-1996
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.34万
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财政年份:1996
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Cristallogenèse d'hétérostructures GaA As/GaAs
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批准号:89726-1994
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$0.95万
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财政年份:1995
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Salles blanches en microélectronique
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批准号:92841-1993
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项目类别:Infrastructure Grants (H)
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资助金额:$1.78万
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财政年份:1995
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Cristallogenèse d'hétérostructures GaA As/GaAs
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批准号:89726-1994
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$0.95万
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财政年份:1994
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Salles blanches en microélectronique
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批准号:92841-1993
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项目类别:Infrastructure Grants (H)
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资助金额:$1.78万
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财政年份:1994
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Cristallagenèse des semiconducteurs III-V
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批准号:89726-1991
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.02万
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财政年份:1993
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
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批准号:157376-1994
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项目类别:Research Tools and Instruments - Category 1 (<$150,000)
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资助金额:$0.98万
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财政年份:1993
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Salles blanches en microélectronique
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批准号:92841-1993
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项目类别:Infrastructure Grants (H)
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资助金额:$1.78万
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财政年份:1993
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Etude de corrélation entre la fiabilité et le rendement électrique des structures CMOS et leur histoire thermique
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批准号:137425-1992
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项目类别:Collaborative Research and Development Grants
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资助金额:$2.91万
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财政年份:1993
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Cristallagenèse des semiconducteurs III-V
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批准号:89726-1991
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.02万
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财政年份:1992
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Etude de corrélation entre la fiabilité et le rendement électrique des structures CMOS et leur histoire thermique
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批准号:137425-1992
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项目类别:Collaborative Research and Development Grants
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资助金额:$2.91万
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财政年份:1992
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
Cristallagenèse des semiconducteurs III-V
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批准号:89726-1991
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项目类别:Discovery Grants Program - Individual
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资助金额:$1.02万
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财政年份:1991
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负责人:Aktik, Cétin
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依托单位:
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水稻低直链淀粉含量调控基因du13(t)的克隆及功能分析
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