NSERC/Teledyne DALSA Industrial Research Chair in Next Generation MEMS and Microphotonics
NSERC/Teledyne DALSA Industrial Research Chair in Next Generation MEMS and Microphotonics
NSERC/Teledyne DALSA 下一代 MEMS 和微光子学工业研究主席
批准号：
548601-2018
负责人：
Charette, PaulPG
金额：
$14.25万
依托单位：
依托单位国家：
加拿大
项目类别：
Industrial Research Chairs
财政年份：
2022
资助国家：
加拿大
项目状态：
已结题
起止时间：
2022-01-01 至 2023-12-31
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英文摘要
Imagers; MEMS; Microfabrication; Microsystem integration; Photonics; Sensors; Thin film materials
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