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NSERC/Teledyne DALSA Industrial Research Chair in Next Generation MEMS and Microphotonics
NSERC/Teledyne DALSA 下一代 MEMS 和微光子学工业研究主席
基本信息
- 批准号：548603-2018
- 负责人：
- 金额：$ 13.27万
- 依托单位：
- 依托单位国家：加拿大
- 项目类别：Industrial Research Chairs
- 财政年份：2019
- 资助国家：加拿大
- 起止时间：2019-01-01 至 2020-12-31
- 项目状态：已结题
- 来源：
- 关键词：
项目摘要
Imagers,MEMS,Microfabrication,Microsystem integration,Photonics,Sensors,Thin film materials
成像器、MEMS、微加工、微系统集成、光子学、传感器、薄膜材料
项目成果
期刊论文数量（0）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
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