X-ray lithography and ablation of metal films, applications of ultrashort excimer laser pulses for microcircuit fabrication

X 射线光刻和金属薄膜烧蚀、超短准分子激光脉冲在微电路制造中的应用

基本信息

  • 批准号：
    100786-1990
  • 负责人：
    Fedosejevs, Robert
  • 金额：
    $ 5.71万
  • 依托单位：
    University of Alberta
  • 依托单位国家：
    加拿大
  • 项目类别：
    Strategic Grants - Individual (H)
  • 财政年份：
    1991
  • 资助国家：
    加拿大
  • 起止时间：
    1991-01-01 至 1992-12-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

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项目成果

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Fedosejevs, Robert其他文献

Off-axis spiral phase mirrors for generating high-intensity optical vortices
  • DOI：
    10.1364/ol.387363
  • 发表时间：
    2020-04-15
  • 期刊：
    OPTICS LETTERS
  • 影响因子：
    3.6
  • 作者：
    Longman, Andrew;Salgado, Carlos;Fedosejevs, Robert
  • 通讯作者：
    Fedosejevs, Robert
Towards a direct measurement of the quantum-vacuum Lagrangian coupling coefficients using two counterpropagating super-intense laser pulses
使用两个反向传播的超强激光脉冲直接测量量子真空拉格朗日耦合系数
  • DOI：
    10.1088/1367-2630/ac51a7
  • 发表时间：
    2022
  • 期刊：
    New Journal of Physics
  • 影响因子：
    3.3
  • 作者：
    Roso, Luis;Lera, Roberto;Ravichandran, Smrithan;Longman, Andrew;He, Calvin Z.;Pérez-Hernández, José Antonio;Apiñaniz, Jon I.;Smith, Lucas D.;Fedosejevs, Robert;Hill, III, Wendell T.
  • 通讯作者：
    Hill, III, Wendell T.
Spectral calibration of EBT3 and HD-V2 radiochromic film response at high dose using 20 MeV proton beams
  • DOI：
    10.1063/1.4996022
  • 发表时间：
    2018-04-01
  • 期刊：
    REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS
  • 影响因子：
    1.6
  • 作者：
    Feng, Yiwei;Tiedje, Henry F.;Fedosejevs, Robert
  • 通讯作者：
    Fedosejevs, Robert

Fedosejevs, Robert的其他文献

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Laser Plasma Interactions: Fusion, Particle Acceleration and Other Applications
激光等离子体相互作用：聚变、粒子加速和其他应用
  • 批准号：
    RGPIN-2019-05013
  • 财政年份：
    2022
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
Laser Plasma Interactions: Fusion, Particle Acceleration and Other Applications
激光等离子体相互作用：聚变、粒子加速和其他应用
  • 批准号：
    RGPIN-2019-05013
  • 财政年份：
    2021
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
Laser Plasma Interactions: Fusion, Particle Acceleration and Other Applications
激光等离子体相互作用：聚变、粒子加速和其他应用
  • 批准号：
    RGPIN-2019-05013
  • 财政年份：
    2020
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
Laser Plasma Interactions: Fusion, Particle Acceleration and Other Applications
激光等离子体相互作用：聚变、粒子加速和其他应用
  • 批准号：
    RGPIN-2019-05013
  • 财政年份：
    2019
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
High Intensity Laser Plasma Interactions, Ultrafast X-ray sources and Advanced Ignition Laser Fusion Energy
高强度激光等离子体相互作用、超快 X 射线源和先进点火激光聚变能
  • 批准号：
    RGPIN-2014-05736
  • 财政年份：
    2018
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
High Intensity Laser Plasma Interactions, Ultrafast X-ray sources and Advanced Ignition Laser Fusion Energy
高强度激光等离子体相互作用、超快 X 射线源和先进点火激光聚变能
  • 批准号：
    RGPIN-2014-05736
  • 财政年份：
    2017
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
High Intensity Laser Plasma Interactions, Ultrafast X-ray sources and Advanced Ignition Laser Fusion Energy
高强度激光等离子体相互作用、超快 X 射线源和先进点火激光聚变能
  • 批准号：
    RGPIN-2014-05736
  • 财政年份：
    2016
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
High Intensity Laser Plasma Interactions, Ultrafast X-ray sources and Advanced Ignition Laser Fusion Energy
高强度激光等离子体相互作用、超快 X 射线源和先进点火激光聚变能
  • 批准号：
    RGPIN-2014-05736
  • 财政年份：
    2015
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
Laser Induced Breakdown Spectroscopy identification of cells - improved reliability
激光诱导击穿光谱识别细胞 - 提高可靠性
  • 批准号：
    472106-2014
  • 财政年份：
    2014
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Engage Plus Grants Program
Fusion energy - advanced ignition techniques and target fabrication
聚变能——先进的点火技术和靶材制造
  • 批准号：
    430361-2012
  • 财政年份：
    2014
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Strategic Projects - Group

相似国自然基金

结合软印刷技术的复合材料新型层间结构架构
  • 批准号：
    51103142
  • 批准年份：
    2011
  • 资助金额：
    25.0 万元
  • 项目类别：
    青年科学基金项目

相似海外基金

Nanofabrication Using High Frequency Laser Ablation and Laser Maskless Lithography
使用高频激光烧蚀和激光无掩模光刻进行纳米加工
  • 批准号：
    RGPIN-2015-05450
  • 财政年份：
    2021
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
Nanofabrication Using High Frequency Laser Ablation and Laser Maskless Lithography
使用高频激光烧蚀和激光无掩模光刻进行纳米加工
  • 批准号：
    RGPIN-2015-05450
  • 财政年份：
    2020
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
Nanochannel-nanopore based DNA sequencing with DNA motion control and reduced entropic noise
基于纳米通道-纳米孔的 DNA 测序，具有 DNA 运动控制和降低的熵噪声
  • 批准号：
    10010924
  • 财政年份：
    2020
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
Nanofabrication Using High Frequency Laser Ablation and Laser Maskless Lithography
使用高频激光烧蚀和激光无掩模光刻进行纳米加工
  • 批准号：
    RGPIN-2015-05450
  • 财政年份：
    2019
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
Directing Collective Epithelial Morphology in Space and Time Using a Light-Based Carving Tool
使用基于光的雕刻工具指导空间和时间上的集体上皮形态
  • 批准号：
    9809041
  • 财政年份：
    2019
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
Multiscale Fabrication and Imaging Platform for Bioscience Applications
适用于生物科学应用的多尺度制造和成像平台
  • 批准号：
    9752632
  • 财政年份：
    2018
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
Nanofabrication Using High Frequency Laser Ablation and Laser Maskless Lithography
使用高频激光烧蚀和激光无掩模光刻进行纳米加工
  • 批准号：
    RGPIN-2015-05450
  • 财政年份：
    2018
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
Nanofabrication Using High Frequency Laser Ablation and Laser Maskless Lithography
使用高频激光烧蚀和激光无掩模光刻进行纳米加工
  • 批准号：
    RGPIN-2015-05450
  • 财政年份：
    2017
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
Nanofabrication Using High Frequency Laser Ablation and Laser Maskless Lithography
使用高频激光烧蚀和激光无掩模光刻进行纳米加工
  • 批准号：
    RGPIN-2015-05450
  • 财政年份：
    2016
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
Nanofabrication Using High Frequency Laser Ablation and Laser Maskless Lithography
使用高频激光烧蚀和激光无掩模光刻进行纳米加工
  • 批准号：
    RGPIN-2015-05450
  • 财政年份：
    2015
  • 资助金额：
    $ 5.71万
  • 项目类别：
    Discovery Grants Program - Individual
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知道了