金刚石膜紫外光探测器的设计和工艺研究

利用本征金刚石薄膜实现紫外光探测器，显示出许多优点：能有效工作于高温（～600℃）、能高速响应、能实现日盲型紫外探测、能工作于极其恶劣的环境，因而近年来得到国际广泛重视，正在发展应用于军事、空间、工业、环境、医学、生物等多个领域，开展该方面的研究具有重要的学术意义和应用价值。.金刚石膜紫外光探测器的性能很大程度上取决于薄膜质量和器件结构，资料表明目前器件的电荷收集效率较低以致灵敏度不高，本项目将考虑从材料和器件结构设计两方面来改善电荷收集效率，最终实现高效紫外光探测器：（1）材料采用[100]定向金刚石膜；（2）器件结构采用共面栅单极型。在此基础上采用有限元（FE）和Monte Carlo方法模拟分析共面栅单极型探测器中的三维电场分布、电荷输运特性和光谱响应特性；基于模拟分析结果，对探测器进行优化设计；解决器件制备关键工艺，研制出大面积[100]定向金刚石膜共面栅单极型紫外光探测器。