微氮直拉硅单晶集成电路应用的基础研究
批准号：
69176010
项目类别：
面上项目
资助金额：
5.0 万元
负责人：
阙端麟
依托单位：
学科分类：
半导体材料
结题年份：
1995
批准年份：
1991
项目状态：
已结题
项目参与者：
李立本、陈修治、张锦心、姚鸿年、陈立登、余思明、祁明维、杨建松、杨德仁
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依托单位：
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