直接掺氮CZ硅单晶性能的探讨
批准号：
68676014
项目类别：
面上项目
资助金额：
5.0 万元
负责人：
阙端麟
依托单位：
学科分类：
半导体科学与信息器件
结题年份：
1989
批准年份：
1986
项目状态：
已结题
项目参与者：
阙端麟的其他基金
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负责人：阙端麟
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依托单位：
国内基金
海外基金