用准分子激光诱导低温沉积纳米金刚石薄膜，准分子激光辅助负衬底偏压定向生长LiNbO3膜研究LiNbO3/金刚石多层薄膜体系声表面波性能，选出优化结构，制成声表面波滤波器样件，为移动通信光纤通信提供高频、高机电耦合系数、高耐久性、低成本的各种声表面波器件打下工艺和理论基础。同时研究随机定向生长金刚石膜、LiNbO3压电薄膜结晶动力学机理。