课题基金 / 基金详情

高频LiNbO3/金刚石声表面波滤波器研究

批准号：
60276001
项目类别：
面上项目
资助金额：
20.0 万元
负责人：
杨保和
依托单位：
天津理工大学
学科分类：
半导体材料
结题年份：
2005
批准年份：
2002
项目状态：
已结题
项目参与者：
陈希明、常明、唐宁、季来运、吴晓国、曲长庆、李燕、于剑军
关键词：
高频声表面波器件.金刚石薄膜.

项目摘要

结项摘要

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中文摘要
用准分子激光诱导低温沉积纳米金刚石薄膜，准分子激光辅助负衬底偏压定向生长LiNbO3膜研究LiNbO3/金刚石多层薄膜体系声表面波性能，选出优化结构，制成声表面波滤波器样件，为移动通信光纤通信提供高频、高机电耦合系数、高耐久性、低成本的各种声表面波器件打下工艺和理论基础。同时研究随机定向生长金刚石膜、LiNbO3压电薄膜结晶动力学机理。
英文摘要
高频、高Q值、高稳定性SAW谐振器多层膜材料研究
  • 批准号：
    50972105
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    37.0万元
  • 批准年份：
    2009
  • 负责人：
    杨保和
  • 依托单位：
    天津理工大学
AlN/Diamond/Si多层膜声表面波器件及其高频特性研究
  • 批准号：
    60576011
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    22.0万元
  • 批准年份：
    2005
  • 负责人：
    杨保和
  • 依托单位：
    天津理工大学
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