SAW器件已成为先进电子系统的关键器件之一，金刚石多层膜结构的相关工作是影响我国SAW器件发展的瓶颈，亟待进一步深入研究。AIN/diamond多层膜结构SAW器件可以达到更高的频率；相速度速度频散很小；中心频率随温度升高而漂移很小，比其它多层膜结构有特殊的优势。.用Maxwell方程组和细观力学理论，运用用CFD-ACE软件和ANSYS软件，模拟计算"AlN/金刚石"多层膜SAW性能,找出多层膜体系的优化方案；研究加少量氧有利于生成平整优质的金刚石膜机理。我们提出：氧更容易刻蚀晶粒突出的尖角部位，有利于抑制竞争性生长，有利于生成平整优质的金刚石膜。