分子束外延InAs/GaInSb应变超晶格的界面结构研究
批准号:
50502014
项目类别:
青年科学基金项目
资助金额:
24.0 万元
负责人:
李美成
依托单位:
学科分类:
无机非金属半导体与信息功能材料
结题年份:
2008
批准年份:
2005
项目状态:
已结题
项目参与者:
李洪涛、甄西合、邱永鑫、王银玲、熊敏、宋广
中文摘要
采用分子束外延法制备InAs/GaInSb应变超晶格材料。根据能带工程,调节超晶格周期、阱宽、GaInSb中InSb的摩尔比等参数,进行InAs/GaxIn1-xSb应变超晶格的结构设计;利用晶体结构理论,开展高质量缓冲层的组分选择和结构设计,并采用二步生长法进行缓冲层的制备;在超晶格界面结构研究和生长动力学分析的基础上,确定超晶格的优化结构和间断生长法等外延生长工艺;研究超晶格的界面反应、界面结构和界面类型,着重分析界面结构的形成过程及其机制,建立界面结构模型,并实现理想界面结构的外延生长控制;对超晶格光电性能进行测试分析,采用优化工艺制备出成分均匀、光电性能优异的高质量的InAs/GaxIn1-xSb应变超晶格材料。本研究拓展了能带理论的应用、丰富了超晶格界面结构的研究,为长波响应、高灵敏度红外焦平面阵列的研制提供材料科学依据。
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DOI:
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发表时间:
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期刊:
微纳电子技术 2008. 45(8):470-475, 479
影响因子:
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作者:
[]
通讯作者:
DOI:
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发表时间:
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期刊:
稀有金属材料与工程。2009
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
DOI:
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发表时间:
--
期刊:
稀有金属材料与工程. 2007, 36(2): 339-343
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
DOI:
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发表时间:
--
期刊:
功能材料. 2007, 38(6): 917-920
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
Distribution of dislocations in GaSb and InSb epilayers grown on GaAs (001) vicinal substrates
GaAs (001) 邻位衬底上生长的 GaSb 和 InSb 外延层的位错分布
DOI:
10.1063/1.3115450
发表时间:
2009-05
期刊:
Journal of Applied Physics
影响因子:
3.2
作者:
[]
通讯作者:
共 10 条
InAs/GaAsSb量子点自组装生长及其第II型DWELL结构研究
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批准号:50972032
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项目类别:面上项目
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资助金额:35.0万元
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批准年份:2009
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负责人:李美成
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依托单位:
国内基金
海外基金