课题基金 / 基金详情

纳米级立体图象复制刻蚀新技术的刻蚀剂的研究

批准号：
29383004
项目类别：
专项基金项目
资助金额：
15.0 万元
负责人：
田昭武
依托单位：
厦门大学
学科分类：
电化学
结题年份：
1996
批准年份：
1993
项目状态：
已结题
项目参与者：
田昭武、林仲华、卓向东、穆纪千、林华水、李春增、苏连永
关键词：
材料刻蚀纳米加工

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