微系统的新型化学加工技术与重要基础问题
批准号：
29833070
项目类别：
重点项目
资助金额：
90.0 万元
负责人：
田昭武
依托单位：
学科分类：
电化学
结题年份：
2002
批准年份：
1998
项目状态：
已结题
项目参与者：
周兆英、罗瑾、叶雄英、孙立宁、程旋、祖延兵、熊沈蜀、龚秋莲
关键词：
项目摘要
结项摘要
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中文摘要
建立用于三维超微(纳米)图形复加工的约束刻蚀剂层新技术,在某些半导体和金属材料上实现复杂三维超微图形及纳米级平整表面复制加工，并争取应用于微系统的研究和制造。进行模板体系设计和制作方法的研究，研究微流体的过流特性和相关理论。建立可现场监控刻蚀深度的高精密微位移系统。开展相关实验与应用研究。.
英文摘要
逆流聚焦电泳仪的研制
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批准号：29927001
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项目类别：专项基金项目
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资助金额：85.0万元
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批准年份：1999
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负责人：田昭武
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依托单位：
一种基于逆流聚焦电泳原理的新型分析技术
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批准号：29775020
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项目类别：面上项目
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资助金额：17.0万元
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批准年份：1997
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负责人：田昭武
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依托单位：
纳米级立体图象复制刻蚀新技术的刻蚀剂的研究
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批准号：29383004
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项目类别：专项基金项目
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资助金额：15.0万元
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批准年份：1993
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负责人：田昭武
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依托单位：
电化学现场（in situ）分子水平信息的检测与理论
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批准号：29233070
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项目类别：重点项目
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资助金额：50.0万元
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批准年份：1992
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负责人：田昭武
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依托单位：
流动系统电化学检测新技术
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批准号：28770190
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项目类别：面上项目
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资助金额：6.0万元
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批准年份：1987
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负责人：田昭武
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依托单位：
国内基金
海外基金