金刚石微型电子机械开关和微加速器的加工及其应用研究
批准号：
50005027
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
18.0 万元
负责人：
王蜀霞
依托单位：
学科分类：
加工制造
结题年份：
2003
批准年份：
2000
项目状态：
已结题
项目参与者：
廖克俊、王必本、肖金龙、孙永伟、董玉峰、徐晓刚
项目摘要
结项摘要
项目成果
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中文摘要
本项目利用金刚石膜择优生长的特点，结合光刻工艺和激光加工技术，采用特种处理方法，设计制作一种新型表面三维式微型金刚石膜电子机械开关和微型金刚石膜加速度传感器。金刚石膜具有高硬度、防腐蚀和抗辐射、耐高温等优异的物理化学性质。用它制造的微型机电系统可广泛用于宇航、交通、通讯、机械及建筑各领域，开展此项研究具有重要意义。.
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DOI：
10.1016/s1369-8001(02)00053-7
发表时间：
2002-02-01
期刊：
MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING
影响因子：
4.1
作者：
[Wang, SX, Wang, WL, Cai, CZ]
通讯作者：
Cai, CZ
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
稀有金属材料工程
影响因子：
--
作者：
[王蜀霞]
通讯作者：
王蜀霞
DOI：
10.1016/j.sna.2003.07.004
发表时间：
2003-11
期刊：
Sensors and Actuators A
影响因子：
--
作者：
[王万录, 廖克俊, 胡陈果, 王蜀霞, 孔春阳]
通讯作者：
孔春阳
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
真空科学与技术
影响因子：
--
作者：
[王蜀霞]
通讯作者：
王蜀霞
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
功能材料
影响因子：
--
作者：
[王蜀霞, 王万录, 廖克俊, 胡陈果]
通讯作者：
胡陈果
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