选区原子层沉积HfO2薄膜的延迟成核表面构筑与机理研究
批准号：
--
项目类别：
面上项目
资助金额：
54 万元
负责人：
于严淏
依托单位：
学科分类：
无机非金属基础材料
结题年份：
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批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
于严淏
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