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原子层沉积ZrO2介电薄膜的自组装图案化构筑与机理研究

批准号：
--
项目类别：
省市级项目
资助金额：
15.0 万元
负责人：
于严淏
依托单位：
南方科技大学
学科分类：
合成化学
结题年份：
--
批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
于严淏
关键词：
原子层沉积ZrO2介电薄膜自组装图案化构筑

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  • 批准号：
    --
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    54万元
  • 批准年份：
    2022
  • 负责人：
    于严淏
  • 依托单位：
    南方科技大学
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