应用于[3D]FeRAM的铁电纳米管阵列的制备及性能研究

本项目在研究Sol-gel模板法制备优质电极/铁电/电极同轴纳米管阵列的基础上，研制[3D]FeRAM原型器件。主要开展以下研究工作：研究获得孔洞尺寸可控、均匀、长程有序的AAO模板、Si模板和Si基AAO模板的制备工艺；利用Sol-gel模板法合成Bi4Ti3O12和BiFeO3基纳米管、电极/铁电/电极同轴结构纳米管阵列，对其微观结构和性能进行表征，深入研究"材料-工艺-结构-电学性能"之间的内在联系；设计[3D]FeRAM存储单元及外围电路，研制以铁电纳米管为存储介质的[3D]FeRAM原型器件。本项目将解决[3D]FeRAM器件中关于电极材料、界面、纳米管合成工艺与半导体制备环境的兼容性等关键性问题，为这类具有重要应用前景的新型高密度存储器的实用化奠定坚实的基础。而且通过这一研究工作，也将为纳米结构铁电材料的理论研究和低维量子器件的开发提供有益实验依据。