有机发光显示屏中poly-Si TFT的关键技术研究
批准号:
60437030
项目类别:
重点项目
资助金额:
180.0 万元
负责人:
吴春亚
依托单位:
学科分类:
光子与光电子器件
结题年份:
2008
批准年份:
2004
项目状态:
已结题
项目参与者:
熊绍珍、张建军、孟志国、张晓丹、李娟、刘建平、高国保、赵淑云、马海英
中文摘要
有源选址(AM)技术,是有机发光显示(OLED)得以呈现强大竞争力的重要途径。其电流驱动工作要求TFT具有大的驱动能力及独特的像素电路结构。为此,低温优质多晶硅TFT及其关键驱动技术的基础性物理问题,是本重点基金的主要研究内容。拟采用先进的场助热促金属单一方向诱导晶化(FP-MIUC)和热催化化学反应气相沉积(CT-CVD)多晶硅的方法,研制高性能TFT以及新颖结构像素矩阵的关键制造技术,以实现A
英文摘要
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Polycrystalline silicon films and thin-film transistors using solution-based metal-induced crystallization
使用基于溶液的金属诱导结晶的多晶硅薄膜和薄膜晶体管
DOI:
10.1109/jdt.2006.878769
发表时间:
2006-08
期刊:
Journal of Display Technology
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
DOI:
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发表时间:
--
期刊:
光电子激光 Vol.18 No.4 Apr.2007
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
DOI:
--
发表时间:
--
期刊:
半导体学报,2006(08):1514
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
DOI:
--
发表时间:
--
期刊:
液晶与显示 Vol.22 No.3 Jun.2007
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
The influence of SiNx substrate on crystallinity of μc-Si film used in TFT
SiNx衬底对TFT用μc-Si薄膜结晶度的影响
DOI:
--
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
作者:
[]
通讯作者:
共 53 条
a-Si PIN/PLED器件研究
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批准号:69907002
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项目类别:青年科学基金项目
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资助金额:12.0万元
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批准年份:1999
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负责人:吴春亚
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依托单位:
国内基金
海外基金