微机械光子探测技术研究
批准号：
60307006
项目类别：
青年科学基金项目
资助金额：
7.0 万元
负责人：
张流强
依托单位：
学科分类：
光子与光电子器件
结题年份：
2004
批准年份：
2003
项目状态：
已结题
项目参与者：
胡松、蒋子平、李星海、钟志鑫
项目摘要
结项摘要
项目成果
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中文摘要
本课题提出利用微电子技术、MEMS技术和传感器技术等，依据光生应力效应探测红外辐射的原理，研究将金属-半导体微悬臂梁敏感元和光学读出系统等一体化混合集成的相关基础理论和关键技术，以构成一种全新概念的微机械光子探测器。微机械光子探测技术是制备非制冷光子型红外传感器的新技术，它具有灵敏度高、响应时间短、采用光学读出、无须制冷等优点，是红外传感技术的一个新突破。对微机械光子探测技术的研究可望为新颖的红外
英文摘要
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DOI：
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发表时间：
--
期刊：
投稿中
影响因子：
--
作者：
[Liuqiang Zhang, Dawei Deng, Jianeng Wang, Zhiyu Wen]
通讯作者：
Zhiyu Wen
A Study on Pt/Si Micromechanical Photon Detectors
Pt/Si微机械光子探测器的研究
Pt/Si微机械光子探测器的研究
DOI：
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发表时间：
--
期刊：
投稿中
影响因子：
--
作者：
[Liuqiang Zhang, Dawei Deng, Jianeng Wang, Zhiyu Wen]
通讯作者：
Zhiyu Wen
高分辨率CZT像素阵列探测器研究
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批准号：61274048
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项目类别：面上项目
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资助金额：80.0万元
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批准年份：2012
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负责人：张流强
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依托单位：
CZT面元像素阵列探测技术研究
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批准号：10876044
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项目类别：联合基金项目
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资助金额：29.0万元
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批准年份：2008
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负责人：张流强
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依托单位：
国内基金
海外基金