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激光光致热塑膨胀效应及三维微结构制备成型新方法研究
结题报告
批准号:
50775205
项目类别:
面上项目
资助金额:
30.0 万元
负责人:
张冬仙
依托单位:
学科分类:
E0512.微纳机械系统
结题年份:
2010
批准年份:
2007
项目状态:
已结题
项目参与者:
章海军、石少莉、何玉琳、刘超、单小磊
国基评审专家1V1指导 中标率高出同行96.8%
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中文摘要
本项目研究微纳米尺度光致热塑膨胀效应,发展三维微结构制备成型新方法, 建立三维微结构的制备装置系统,实现点、柱、线、面、体等微结构的快速制备。核心是基于激光照射引发的热塑膨胀效应研究新的三维微结构制备方法,用多种热塑性材料制备微点阵、微柱阵、微线阵、微光学元件、微机械元件、微流体学元件等三维微结构,制备的结构线宽在1~100um量级内可调、纵横比可控(最大2:1以上)。特色与创新之处是,揭示热塑膨胀效应的机制,通过编程控制扫描实现所需任意形状的三维微结构的制备,无需掩模、线宽与速度可调、可获得高纵横比。研究材料的热塑膨胀效应,并利用此效应实现三维微结构的快速制备,拓展了一种新的三维微结构制备成形方法,具有重要的理论意义和科学价值;这一新的技术方法,在微机械、微光学技术、微电子技术、微光学电子机械系统(MOEMS)及微纳米技术其它领域具有广阔的应用前景。
英文摘要
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会议论文列表
专利列表
同步辐射ED-XAS技术研究非晶态物质晶化初期原子短程排列结构的演变
  • 批准号:
    --
  • 项目类别:
    --
  • 资助金额:
    55万元
  • 批准年份:
    2022
  • 负责人:
    张冬仙
  • 依托单位:
大面积超高透射率减色滤波器的研究
  • 批准号:
    U1432110
  • 项目类别:
    联合基金项目
  • 资助金额:
    70.0万元
  • 批准年份:
    2014
  • 负责人:
    张冬仙
  • 依托单位:
基于同步辐射LIGA技术的微纳驱动器件制备及其驱动新方法研究
  • 批准号:
    11179026
  • 项目类别:
    联合基金项目
  • 资助金额:
    56.0万元
  • 批准年份:
    2011
  • 负责人:
    张冬仙
  • 依托单位:
国内基金
海外基金