多线圈大面积感应耦合等离子体的耦合特性和均匀性研究

结题报告
项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    10305008
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    32.0万
  • 负责人：
    辛煜
  • 依托单位：
    苏州大学
  • 学科分类：
    A2907.低温等离子体
  • 结题年份：
    2006
  • 批准年份：
    2003
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2004-01-01 至2006-12-31

项目摘要

本项目的研究重点将放在大面积多线圈的ICP等离子体耦合特性以及等离子体均匀性方面。通过对单线圈ICP等离子体的耦合特性研究提出一个基本的等离子体阻抗模型，为确定多线圈ICP等离子体的网络匹配参数提供依据；研究多线圈的几何结构、位形配置、线圈之间的互感、匝间距与匝数等对感应耦合等离子体的电子温度、密度以及能量分布的影响规律；根据实验结果，修正多线圈ICP等离子体的阻抗模型；阐明宏观参量对产生大面积均

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（22）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（0）
专利数量（0）
Structural evolution of SiNx f
SiNx f 的结构演化
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    辛煜 黄壮雄 施毅 濮林 张荣 郑
  • 通讯作者：
    辛煜 黄壮雄 施毅 濮林 张荣 郑
Si-OH基团对SiCOH低k薄膜性能的
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    物理学报 55(2006) 2606-2612
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    叶超 宁兆元 辛煜 王婷婷 俞笑竹
  • 通讯作者：
    叶超 宁兆元 辛煜 王婷婷 俞笑竹
The structural and dielectric
结构和介电
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    辛煜 宁兆元 叶超 许圣华 陈军
  • 通讯作者：
    辛煜 宁兆元 叶超 许圣华 陈军
ECR-CVD方法生长a-SiNx:H薄膜的
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    功能材料与器件学报 12（2006）259-263
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    鲁涛 辛煜 吴雪梅
  • 通讯作者：
    鲁涛 辛煜 吴雪梅
HfO2在CHF3/Ar/H2的感应耦合等离
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    真空科学与技术学报 24（2004）309-312
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    辛煜 宁兆元 叶超 许圣华 甘肇强
  • 通讯作者：
    辛煜 宁兆元 叶超 许圣华 甘肇强

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其他文献

电负性气体的掺入对容性耦合Ar 等离子体的影响
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2013
  • 期刊：
    物理学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    徐东升;虞一青;王栩生;辛煜
  • 通讯作者：
    辛煜
随机电磁光束通过像散光学系统后的偏振恒定性
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2011
  • 期刊：
    中国激光
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    李伽;陈延如;辛煜;周木春;徐实学
  • 通讯作者：
    徐实学
拉盖尔-高斯光束在凸台周围的气动光学效应
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
    激光与光电子学进展
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    蒋倩雯;辛煜;张淇博;许凌飞;赵琦
  • 通讯作者：
    赵琦
Pb(Zr,Ti)O3衬底上效率超过1%的铁电太阳能电池
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2014
  • 期刊：
    Journal of Materials Chemistry A
  • 影响因子：
    11.9
  • 作者：
    辛煜
  • 通讯作者：
    辛煜
Study on characteristics of dual-frequency capacitively coupled SF6/O2 plasma and plasma texturing of multi-crystalline silicon
双频电容耦合SF6/O2等离子体特性及多晶硅等离子体织构研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2014
  • 期刊：
    Chinese Physics B
  • 影响因子：
    1.7
  • 作者：
    邹帅;辛煜;苏晓东;王栩生
  • 通讯作者：
    王栩生

其他文献

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辛煜的其他基金

甚高频脉冲电负性等离子体的激光解吸诊断研究
  • 批准号：
    11675117
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    2016
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    68.0 万元
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    面上项目
氟、氯基射频等离子体在多晶硅电池片表面制绒的应用研究
  • 批准号：
    11175127
  • 批准年份：
    2011
  • 资助金额：
    70.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目
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    10775103
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    面上项目

相似国自然基金

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  • 批准号：
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  • 批准年份：
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  • 资助金额：
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相似海外基金

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AI项目解读示例

课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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