课题基金 / 基金详情

Fin精细形貌及掺杂梯度对FinFET器件总剂量效应影响机理研究

批准号：
12475290
项目类别：
面上项目
资助金额：
53.00 万元
负责人：
郑齐文
依托单位：
中国科学院新疆理化技术研究所
学科分类：
数理科学部
结题年份：
--
批准年份：
2024
项目状态：
未结题
项目参与者：
郑齐文
关键词：
--

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