纳机电微声传感器研究
批准号：
50375050
项目类别：
面上项目
资助金额：
26.0 万元
负责人：
张文栋
依托单位：
学科分类：
机械测试理论与技术
结题年份：
2006
批准年份：
2003
项目状态：
已结题
项目参与者：
任勇峰、郭涛、石云波、孟令军、张斌珍、徐佩
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项目成果
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中文摘要
本课题主要基于纳米结构的介观压阻效应，研究纳机电双层、多层膜、带、线式声传感器的设计、仿真和建模技术；研究灵敏度和动态范围可控制纳机电结构的设计、仿真和建模技术方法。纳机电声传感器设计和制造；研究纳机电声传感器件的灵敏度、动态特性、环境特性等参数的测试方法研究、实验验证等。微声测量是目前我国目前环境监测、分布式无人战斗单元及战场信息探测装备研制的急需关键器件，由本项目所研制的微声传感器具有检测范围宽、灵敏度和集成度高、低成本的优点，能为环境监测和战场信息探测装备的发展提供强有力的技术支撑。
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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作者：
[张文栋, 周兆英]
通讯作者：
周兆英
A GaAs Micromachined Accelerom
砷化镓微机械加速器
砷化镓微机械加速器
DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
--
作者：
[谢斌, 薛晨阳]
通讯作者：
薛晨阳
DOI：
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发表时间：
--
期刊：
半导体学报，27（10）：1789-1793，2006
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
A dynamic stress analyzer for
动态应力分析仪
动态应力分析仪
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
作者：
[薛晨阳, 郑丽娜]
通讯作者：
郑丽娜
Raman Quantitate Stress in GaA
GaA 中的拉曼应力定量
GaA 中的拉曼应力定量
DOI：
--
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
作者：
[桑胜波, 薛晨阳]
通讯作者：
薛晨阳
共 24 条
面向乳腺超声成像/HIFU应用的高K介质双模式CMUT曲面阵研究
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批准号：62320106011
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项目类别：国际(地区)合作与交流项目
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资助金额：211万元
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批准年份：2023
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负责人：张文栋
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依托单位：
基于高密度CMUT柱面阵的乳腺三维超声CT成像系统研究
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批准号：61927807
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项目类别：国家重大科研仪器研制项目
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资助金额：700万元
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批准年份：2019
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负责人：张文栋
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依托单位：
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批准号：51875535
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项目类别：面上项目
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资助金额：60.0万元
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批准年份：2018
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负责人：张文栋
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依托单位：
芯片级高Q值平面环形微腔的制造及非线性光学特性研究
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批准号：60778029
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项目类别：面上项目
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资助金额：30.0万元
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批准年份：2007
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负责人：张文栋
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依托单位：
国内基金
海外基金