纳机电微声传感器研究
结题报告
批准号:
50375050
项目类别:
面上项目
资助金额:
26.0 万元
负责人:
张文栋
依托单位:
学科分类:
E0511.机械测试理论与技术
结题年份:
2006
批准年份:
2003
项目状态:
已结题
项目参与者:
任勇峰、郭涛、石云波、孟令军、张斌珍、徐佩
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中文摘要
本课题主要基于纳米结构的介观压阻效应,研究纳机电双层、多层膜、带、线式声传感器的设计、仿真和建模技术;研究灵敏度和动态范围可控制纳机电结构的设计、仿真和建模技术方法。纳机电声传感器设计和制造;研究纳机电声传感器件的灵敏度、动态特性、环境特性等参数的测试方法研究、实验验证等。微声测量是目前我国目前环境监测、分布式无人战斗单元及战场信息探测装备研制的急需关键器件,由本项目所研制的微声传感器具有检测范围宽、灵敏度和集成度高、低成本的优点,能为环境监测和战场信息探测装备的发展提供强有力的技术支撑。
英文摘要
期刊论文列表
专著列表
科研奖励列表
会议论文列表
专利列表
DOI:--
发表时间:--
期刊:
影响因子:--
作者:张文栋;周兆英
通讯作者:周兆英
A GaAs Micromachined Accelerom
砷化镓微机械加速器
DOI:--
发表时间:--
期刊:
影响因子:--
作者:谢斌;薛晨阳
通讯作者:薛晨阳
DOI:--
发表时间:--
期刊:半导体学报,27(10):1789-1793,2006
影响因子:--
作者:
通讯作者:
A dynamic stress analyzer for
动态应力分析仪
DOI:--
发表时间:--
期刊:
影响因子:--
作者:薛晨阳;郑丽娜
通讯作者:郑丽娜
Raman Quantitate Stress in GaA
GaA 中的拉曼应力定量
DOI:--
发表时间:--
期刊:
影响因子:--
作者:桑胜波;薛晨阳
通讯作者:薛晨阳
面向乳腺超声成像/HIFU应用的高K介质双模式CMUT曲面阵研究
  • 批准号:
    62320106011
  • 项目类别:
    国际(地区)合作与交流项目
  • 资助金额:
    211万元
  • 批准年份:
    2023
  • 负责人:
    张文栋
  • 依托单位:
基于高密度CMUT柱面阵的乳腺三维超声CT成像系统研究
  • 批准号:
    61927807
  • 项目类别:
    国家重大科研仪器研制项目
  • 资助金额:
    700万元
  • 批准年份:
    2019
  • 负责人:
    张文栋
  • 依托单位:
高灵敏宽频带声压/声压梯度复合式MEMS水听器研究
  • 批准号:
    51875535
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    60.0万元
  • 批准年份:
    2018
  • 负责人:
    张文栋
  • 依托单位:
芯片级高Q值平面环形微腔的制造及非线性光学特性研究
  • 批准号:
    60778029
  • 项目类别:
    面上项目
  • 资助金额:
    30.0万元
  • 批准年份:
    2007
  • 负责人:
    张文栋
  • 依托单位:
存储测试技术
  • 批准号:
    50424507
  • 项目类别:
    专项基金项目
  • 资助金额:
    4.0万元
  • 批准年份:
    2004
  • 负责人:
    张文栋
  • 依托单位:
国内基金
海外基金