含氮气放电低温等离子体中的高振动激发态和亚稳态物种的诊断对研究和改进等离子体工艺过程，探索等离子体物理和化学的微观反应机理具有重要意义。由于氮气分子是无极性双原子分子且其亚稳电子A态 对于基态是跃迁禁阻的，故红外光谱和传统的光谱法不能或难于直接应用于物种测量。质量选择多光子共振电离技术是非线性激光光谱方法，具有高灵敏度和高选择性，适用于解决传统光谱学不能应用的问题，近年来已经成功应用于复杂燃烧过程，碳氢等离子体的活性物种及内量子态的光谱和诊断研究。氮分子电子基态高振动激发态和电子亚稳态物种在介质阻挡放电等离子体脱除空气污染物（如甲醛，NOx等）过程中扮演重要角色。但由于缺少相关物种的诊断测量，其反应机理仍停留在经验猜测水平。本项目拟通过质量选择的激光光谱方法直接对这两类物种进行测量和诊断，通过数据分析建立包含激发态和亚稳态通道的反应动力学理论模型，为等离子体工艺优化提供机理支持。