AlN薄膜因其性能的各向异性，对择优取向生长AlN薄膜的制备及其性能和相关应用的研究都尤为重要。本项目着重研究AlN薄膜取向生长的机制，完善c轴平行取向生长的制备技术，并探索不同择优取向以及晶粒在纳米尺度下对薄膜各种性能特别是SAW特性的影响。同时可以狝lN纳米薄膜在高性能器件上的应用提供重要的实验数据。