课题基金基金详情
EUV光刻掩模缺陷原波长叠层衍射跨尺度检测理论与方法研究
批准号：
52130504
项目类别：
重点项目
资助金额：
300 万元
负责人：
刘世元
依托单位：
华中科技大学
学科分类：
F0508.应用光学
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
刘世元
关键词：
原波长叠层衍射跨尺度检测EUV缺陷
国基评审专家1V1指导 中标率高出同行96.8%
结合最新热点，提供专业选题建议
深度指导申报书撰写，确保创新可行
指导项目中标800+，快速提高中标率
客服二维码
微信扫码咨询
基于散射场层析广义椭偏仪的三维纳米结构测量理论与方法
  • 批准号：
    51475191
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    85.0万元
  • 批准年份：
    2014
  • 负责人：
    刘世元
  • 依托单位：
    华中科技大学
基于广义椭偏仪的纳米结构三维形貌参数测量理论与方法研究
  • 批准号：
    91023032
  • 项目类别：
    重大研究计划
  • 资助金额：
    50.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    刘世元
  • 依托单位：
    华中科技大学
高深宽比微纳层次结构的仿壁虎毛参数优化设计与制作工艺研究
  • 批准号：
    50775090
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    34.0万元
  • 批准年份：
    2007
  • 负责人：
    刘世元
  • 依托单位：
    华中科技大学
基于相似性的时间序列表示与模式发现理论和方法研究
  • 批准号：
    50205009
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    20.0万元
  • 批准年份：
    2002
  • 负责人：
    刘世元
  • 依托单位：
    华中科技大学
国内基金
海外基金