金属氧化物一维结构的规格化制备研究
项目介绍
AI项目解读
基本信息
- 批准号:51072094
- 项目类别:面上项目
- 资助金额:42.0万
- 负责人:
- 依托单位:
- 学科分类:E0207.无机非金属半导体与信息功能材料
- 结题年份:2013
- 批准年份:2010
- 项目状态:已结题
- 起止时间:2011-01-01 至2013-12-31
- 项目参与者:魏青; 倪杰; 周钦; 陈舒恬; 朱宇;
- 关键词:
项目摘要
针对金属氧化物一维纳米结构的规格化制备问题,本项目拟利用薄膜制备中经常使用的物理气相沉积方法(如电子束、磁控溅射等),采用"斜沉积"技术制备纳米结构并开展其生长热力学和生长动力学研究,了解和理解各种条件,如沉积粒子入射角度、沉积速度、基片温度和基片运动方式等对纳米结构的形状、尺寸、分立性、性能等的影响,探索利用薄膜生长中的"阴影效应"生长分立一维纳米结构的基本原理和方法,通过抑制表面扩散等控制其形状、尺寸、生长方向等的原理和方法,以及通过原位掺杂调控其性能的方法。.本研究将为规格化制备一维纳米结构的物理气相沉积方法的建立提供理论和技术基础。这种基于物理气相沉积的方法与现有器件制作技术兼容并具有一定的普适性,可在一定程度上推动一维纳米结构的规格化制备技术的发展和应用研究。
结项摘要
本项目研究针对电子束沉积、磁控溅射沉积等方法,研究了各种沉积条件(包括沉积速率、样品台倾斜角度、样品台旋转速度及运动方式、基片温度等)对所沉积的氧化物薄膜的形貌、结构等的影响规律,寻找到制备各种一维形貌的最佳工艺条件,建立了基于电子束沉积及磁控溅射的“倾斜沉积”制备一维纳米结构的方法。在“半球模型”的基础上,根据所获得的实验结构,对该模型进行了改进,改进后的模型可以用来预言沉积获得的一维结构的形貌和尺寸等,也可以用来寻找制备具有特定形貌的一维纳米结构的工艺条件。利用脉冲电子束沉积方法,获得了制备氧化钼一维棒状结构的最佳工艺条件,并对其性能进行了研究。利用脉冲电子束沉积方法制备了未掺杂ZnO薄膜,并利用好在Ar气氛中退火的方法,在该薄膜中产生缺陷,系统研究了这些缺陷对薄膜的发光、磁性等的影响规律,寻找出氧缺陷与磁性的直接关联性,并对单个氧缺陷对磁性的贡献给出了粗略的估值。此外,还对一些氧化物一维纳米结构的热稳定性进行了研究。
项目成果
期刊论文数量(13)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Tuning the optical bandgap of TiO2-TiN composite films as photocatalyst in the visible light
调节 TiO2-TiN 复合薄膜作为可见光光催化剂的光学带隙
- DOI:10.1063/1.4812702
- 发表时间:2013-06
- 期刊:AIP Advances
- 影响因子:1.6
- 作者:Xie, Zheng;Liu, Xiangxuan;Liu, Xiangxuan;Zhan, Peng;Zhan, Peng;Wang, Weipeng;Wang, Weipeng;Zhang, Zhengjun;Zhang, Zhengjun
- 通讯作者:Zhang, Zhengjun
Substrate effect on the room-temperature ferromagnetism in un-doped ZnO films
基底对未掺杂 ZnO 薄膜室温铁磁性的影响
- DOI:10.1063/1.4737881
- 发表时间:2012-07
- 期刊:Applied Physics Letters
- 影响因子:4
- 作者:Li, Zhengcao;Zhang, Zhengjun;Zhang, Zhengjun;Zhang, Peng;Zhang, Peng;Wang, Baoyi;Wang, Baoyi;Cao, Xingzhong;Cao, Xingzhong
- 通讯作者:Cao, Xingzhong
Enhanced room-temperature ferromagnetism in un-doped ZnO thin films by thermal annealing in a strong magnetic field
通过强磁场热退火增强未掺杂 ZnO 薄膜的室温铁磁性
- DOI:10.1063/1.4720744
- 发表时间:2012-05
- 期刊:Journal of Applied Physics
- 影响因子:3.2
- 作者:Zhan, Peng;Wang, Weipeng;Wang, Weipeng;Xie, Qian;Xie, Qian;Li, Zhengcao;Li, Zhengcao;Zhang, Zhengjun;Zhang, Zhengjun
- 通讯作者:Zhang, Zhengjun
Growth of [010] oriented alpha-MoO3 nanorods by pulsed electron beam deposition
通过脉冲电子束沉积生长[010]取向的α-MoO3纳米棒
- DOI:--
- 发表时间:2011
- 期刊:Applied Physics Letters
- 影响因子:4
- 作者:Liu, Can;Liu, Can;Li, Zhengcao;Li, Zhengcao;Zhang, Zhengjun;Zhang, Zhengjun
- 通讯作者:Zhang, Zhengjun
Preparation of Highly Textured ZnO Thin Films by Pulsed Electron Deposition
脉冲电子沉积法制备高织构化 ZnO 薄膜
- DOI:10.2320/matertrans.m2011141
- 发表时间:2011-09
- 期刊:Materials Transactions
- 影响因子:1.2
- 作者:Zhan, Peng;Li, Zhengcao;Zhang, Zhengjun
- 通讯作者:Zhang, Zhengjun
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其他文献
各向同性石墨结构与工艺条件的关系
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:深圳大学学报(理工版)
- 影响因子:--
- 作者:付晓刚;陈东钺;李正操;张政军
- 通讯作者:张政军
层次孔超细碳纤维及其对乙醇和丙酮的吸附性能(英)
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:New Carbon Materials
- 影响因子:5.7
- 作者:白宇;黄正宏;张政军;康飞宇
- 通讯作者:康飞宇
纳米结构的倾斜角度沉积及性能优化
- DOI:--
- 发表时间:2016
- 期刊:材料科学与工艺
- 影响因子:--
- 作者:马菱薇;周钦;张政军
- 通讯作者:张政军
氧化钇掺杂铁薄膜的制备及热稳定行为
- DOI:--
- 发表时间:--
- 期刊:深圳大学学报(理工版)
- 影响因子:--
- 作者:张政军;马天;余晓毅;李正操;苗伟
- 通讯作者:苗伟
其他文献
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