磁场调控辉光放电质谱阴极溅射机理与深度分析新方法研究
批准号：
--
项目类别：
面上项目
资助金额：
54 万元
负责人：
钱荣
依托单位：
中国科学院上海硅酸盐研究所
学科分类：
--
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
钱荣
关键词：
深度分析新方法研究磁场调控阴极溅射辉光放电
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