面向刻蚀工艺的脉冲调制甚高频容性耦合等离子体的点燃物理
批准号：
12275043
项目类别：
面上项目
资助金额：
56 万元
负责人：
刘永新
依托单位：
大连理工大学
学科分类：
--
结题年份：
--
批准年份：
2022
项目状态：
未结题
项目参与者：
刘永新
关键词：
点燃物理等离子体容性耦合刻蚀工艺脉冲调制
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低气压电负性射频容性放电的条纹不稳定性研究
  • 批准号：
    11875100
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    66.0万元
  • 批准年份：
    2018
  • 负责人：
    刘永新
  • 依托单位：
    大连理工大学
低气压脉冲调制容性耦合等离子体特性研究
  • 批准号：
    11405018
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    30.0万元
  • 批准年份：
    2014
  • 负责人：
    刘永新
  • 依托单位：
    大连理工大学
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