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电泳技术制备曲面位移压电微驱动器及其动态位移特性研究

批准号：
50675218
项目类别：
面上项目
资助金额：
30.0 万元
负责人：
李国荣
依托单位：
中国科学院上海硅酸盐研究所
学科分类：
微纳机械系统
结题年份：
2009
批准年份：
2006
项目状态：
已结题
项目参与者：
惠森兴、赵苏串、顾大国、李玉科、蔡闻捷、邓国初
关键词：
压电材料电泳技术非硅衬底微驱动器动态位移特性

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中文摘要
采用在三方-四方结构相界附近、压电系数高的铌锌酸铅-镐钛酸铅（PZN-PZT）弛豫铁电体的化学组成配方，利用溶胶－凝胶法和电泳厚膜沉积技术，制备出晶粒尺寸均一的PZN-PZT多组分络合物胶粒，在电场作用下，通过改变络合剂、调节泳液PH值、电泳电压和时间等条件和技术参数，将该络合物胶粒均匀沉积在曲面陶瓷基片的金属电极上，然后进行合理的退火温度处理，制备出无开裂、厚膜均匀、致密、位移面呈曲面的压电微驱动器，满足新一代微机械系统及其在光学的应用。研究络合剂对多种离子的络合机理；络合剂胶粒电泳过程中的特殊动力学过程以及沉积物与金属电极之间的界面问题；曲面陶瓷衬底上PZN-PZT压电铁电特性，以及曲面压电微驱动器的电压-位移的动态位移特性，为新型压电陶瓷微驱动器的应用提供理论和应用基础。
英文摘要
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The Influence of ZnF2 Doping on the Electrical Properties and Microstructure in Bi2O3–ZnO‐Based Varistors
DOI： 10.1111/j.1551-2916.2009.03386.x
发表时间： 2010
期刊： Journal of the American Ceramic Society
影响因子： 3.9
作者： [Lihong Cheng;Liaoying Zheng;Guorong Li;Kai-Yun Yuan;Yan Gu;Fu-Ping Zhang]
通讯作者： Lihong Cheng;Liaoying Zheng;Guorong Li;Kai-Yun Yuan;Yan Gu;Fu-Ping Zhang
Enhanced Ferroelectric Properties of Potassium Sodium Niobate Ceramics Modified by Small Amount of K3Li2Nb5O15
少量K3Li2Nb5O15改性增强铌酸钾钠陶瓷的铁电性能
DOI： 10.1111/j.1551-2916.2008.02921.x
发表时间： 2009-03
期刊： JOURNAL OF THE AMERICAN CERAMIC SOCIETY
影响因子： 3.9
作者： [李国荣, 郑嘹赢, 张阳红, 殷庆瑞, 曾江涛]
通讯作者： 曾江涛
Electrophoretic deposition of SrBi4Ti4O15 thick films on Al2O3 substrate
Al2O3 基底上电泳沉积 SrBi4Ti4O15 厚膜
DOI： 10.1007/s10832-007-9256-6
发表时间： 2008-12
期刊： Journal of Electroceramics
影响因子： 1.7
作者： [Li, G. R., Ding, A. L., Gu, D. G., Xu, Z. J., Yin, Q. R., Zheng, L. Y.]
通讯作者： Zheng, L. Y.
The Piezoelectric and Dielectric Properties of 0.3Pb(Ni1/3Nb2/3)O3–xPbTiO3–(0.7-x)PbZrO3 Ferroelectric Ceramics Near the Morphotropic Phase Boundary
0.3Pb(Ni1/3Nb2/3)O3—xPbTiO3—(0.7-x)PbZrO3铁电陶瓷在同形相界附近的压电和介电性能
DOI： 10.1111/j.1551-2916.2009.03432.x/abstract
发表时间： 2010-03
期刊： Journal of the American Ceramic Society
影响因子： 3.9
作者： [Suchuan Zhao, Ruijuan Cao, Liaoying Zheng, Guorong Li, Qingrui Yin, Jiangtao Zeng]
通讯作者： Jiangtao Zeng
共 10 条
    弛豫铁电体/铁电玻璃的电极化机制与应用特性研究
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