面向IC制造的硅片机器人关键技术研究

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项目介绍
AI项目解读

基本信息

  • 批准号：
    50675027
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    28.0万
  • 负责人：
    丛明
  • 依托单位：
    大连理工大学
  • 学科分类：
    E0501.机器人与机构学
  • 结题年份：
    2009
  • 批准年份：
    2006
  • 项目状态：
    已结题
  • 起止时间：
    2007-01-01 至2009-12-31

项目摘要

本项目以面向IC制造的硅片机器人关键技术为研究对象，根据IC制造中不断缩小特征尺寸和增大硅片直径的发展趋势，提出了硅片机器人关键技术的研究内容和解决方法，以满足其高洁净、高速度、高精度和高稳定性的要求。针对硅片机器人需要解决的如何抑制尘埃粒子的发生和如何在搬运硅片过程中产生平滑的加减速度运动、防止振动等问题，从磁力传动技术、磁性流体密封技术、机器人手臂结构拓扑、机器人运动轨迹规划与控制等四个方面深入系统地研究和解决硅片机器人的关键技术。通过磁力传动理论和动态特性的研究，提出硅片机器人的精密轴向磁力传动器模型和结构；通过研究磁性流体密封机理，提出硅片机器人的三轴轴封结构与磁性流体密封技术；基于拓扑均质化理论提出硅片机器人手臂的结构拓扑优化方法；针对硅片机器人运动特性建立一种适合硅片机器人手臂的运动轨迹优化方法与控制。为我国在IC制造装备上开发硅片机器人提供拥有自主知识产权的关键理论和技术。

结项摘要

项目成果

期刊论文数量（8）
专著数量（0）
科研奖励数量（0）
会议论文数量（6）
专利数量（7）
面向 IC 制造的净化机器人
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    高技术通讯
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    沈宝宏;丛明;于旭
  • 通讯作者：
    于旭
玻璃基板搬运机器人的设计
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    组合机床与自动化加工技术
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    杨明生;穆从义;丛明;徐晓飞
  • 通讯作者：
    徐晓飞
硅片预对准机器人边缘信息采集处理方法
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    机械工程学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    丛明;刘静;杜宇;孔祥吉
  • 通讯作者：
    孔祥吉
硅片传输机器人的发展及研究现状
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    机器人技术与应用
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    于旭;丛明;徐晓飞
  • 通讯作者：
    徐晓飞
FPD玻璃基板搬运机器人研究
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    机器人技术与应用
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    徐晓飞;丛明;石会立;刘静;崔冬梅
  • 通讯作者：
    崔冬梅

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其他文献

基于正中咬合优化的磨牙全瓷冠应力分析
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    2020
  • 期刊：
    生物医学工程学杂志
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    秦文龙;丛明;任翔;刘冬
  • 通讯作者：
    刘冬
RT-PCR克隆人血清白蛋白cDNA及其序列分析
  • DOI：
    --
  • 发表时间：
    --
  • 期刊：
    热带作物学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    凌华;丛明;黄惠琴;吕家森;鲍时翔
  • 通讯作者：
    鲍时翔
齿轮机器人复杂装配过程在线建模与参数优化
  • DOI：
    10.3901/jme.2021.13.124
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
    机械工程学报
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    刘冬;袁利恒;丛明
  • 通讯作者：
    丛明
基于生物认知的移动机器人路径规划方法
  • DOI：
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  • 发表时间：
    2018
  • 期刊：
    机器人
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    邹强;丛明;刘冬;杜宇;崔瑛雪
  • 通讯作者：
    崔瑛雪
基于气压式触觉的欠驱动手抓取分类方法
  • DOI：
    10.13245/j.hust.210908
  • 发表时间：
    2021
  • 期刊：
    华中科技大学学报. 自然科学版
  • 影响因子：
    --
  • 作者：
    丛明;缪跃;李泳耀;刘冬
  • 通讯作者：
    刘冬

其他文献

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AI技术路线图

丛明的其他基金

类脑空间认知机制启发的机器人预测地图构建与规划学习
  • 批准号：
  • 批准年份：
    2021
  • 资助金额：
    60 万元
  • 项目类别：
    面上项目
类脑空间认知机制启发的机器人预测地图构建与规划学习
  • 批准号：
    62173064
  • 批准年份：
    2021
  • 资助金额：
    60.00 万元
  • 项目类别：
    面上项目
面向牙科义齿性能测试与评估的仿生咀嚼机器人关键技术研究
  • 批准号：
    51575078
  • 批准年份：
    2015
  • 资助金额：
    64.0 万元
  • 项目类别：
    面上项目

相似国自然基金

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  • 批准号：
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相似海外基金

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课题项目：调控A型流感病毒诱导IFN-β表达的机制研究

AI项目摘要：

本研究聚焦于TRIM2蛋白在A型流感病毒诱导的IFN-β表达中的调控机制。A型流感病毒是全球性健康问题，其感染可导致严重的呼吸道疾病。IFN-β作为关键的抗病毒因子，其表达水平对抗病毒防御至关重要。然而，TRIM2如何调控IFN-β的表达尚未明确。本研究假设TRIM2通过与病毒RNA或宿主因子相互作用，影响IFN-β的产生。我们将采用分子生物学、细胞生物学和免疫学方法，探索TRIM2与A型流感病毒诱导IFN-β表达的关系。预期结果将揭示TRIM2在抗病毒免疫反应中的作用，为开发新的抗病毒策略提供理论基础。该研究对理解宿主抗病毒机制具有重要科学意义，并可能对临床治疗流感病毒感染提供新的视角。

AI项目思路：

科学问题：TRIM2如何调控A型流感病毒诱导的IFN-β表达？
前期研究：已有研究表明TRIM2参与抗病毒反应，但其具体机制尚不明确。
研究创新点：本研究将深入探讨TRIM2在IFN-β表达中的直接作用机制。
技术路线：包括病毒学、分子生物学、细胞培养和免疫检测技术。
关键技术：TRIM2与病毒RNA的相互作用分析，IFN-β启动子活性检测。
实验模型：使用A型流感病毒感染的细胞模型进行研究。

AI技术路线图

        graph TD
          A[研究起始] --> B[文献回顾与假设提出]
          B --> C[实验设计与方法学准备]
          C --> D[A型流感病毒感染模型建立]
          D --> E[TRIM2与病毒RNA相互作用分析]
          E --> F[TRIM2对IFN-β启动子活性的影响]
          F --> G[IFN-β表达水平测定]
          G --> H[TRIM2功能丧失与获得研究]
          H --> I[数据收集与分析]
          I --> J[结果解释与科学验证]
          J --> K[研究结论与未来方向]
          K --> L[研究结束]
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