硅—二氧化硅界面缺陷与过渡族元素相互作用

批准号：

69076418

项目类别：

面上项目

资助金额：

3.5 万元

负责人：

陈开茅

依托单位：

北京大学

学科分类：

半导体器件物理

结题年份：

1992

批准年份：

1990

项目状态：

已结题

项目参与者：

陈开茅、曾树荣、武兰青、许惠英

关键词：

相互作用硅—二氧化硅界面缺陷过渡元素

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