蓝宝石衬底的超声辅助固相反应研磨加工机理及关键技术研究
批准号：
52175404
项目类别：
面上项目
资助金额：
58 万元
负责人：
胡中伟
依托单位：
学科分类：
加工制造
结题年份：
--
批准年份：
2021
项目状态：
未结题
项目参与者：
胡中伟
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依托单位：
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